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Pub. No.:    WO/2015/029742    International Application No.:    PCT/JP2014/070956
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 01.08.2014
Chapter 2 Demand Filed:    15.06.2015    
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: HATTA, Masataka; (JP).
ISHII, Kazunari; (JP)
Agent: BECCHAKU, Shigehisa; Lusis Bldg. 2nd Floor, 16-1, Higashi Shinbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050021 (JP)
Priority Data:
2013-176845 28.08.2013 JP
(JA) デバイス検査方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a device inspection method that can restrict a load on a stage- movement motor to a fixed value or less. A prober (10) is provided with the following: a stage (11) that has an X-direction motor and a Y-direction motor and thereby is capable of moving with a wafer (W) mounted thereon, the wafer having formed thereon semiconductor devices with electrodes; and a probe card (17) disposed so as to face the stage (11). Solder bumps (27) are disposed so as to correspond to the semiconductor device electrodes, and the probe card (17) has a probe electrode (28) capable of engaging the solder bumps (27). After the probe electrode (28) is made to engage the solder bumps (27), when the electrical properties of the semiconductor devices are measured, the X-direction motor or Y-direction motor generates torque so as to keep the stage (11) from moving, but the maximum value of the torque generated by the X-direction motor or Y-direction motor is restricted to a prescribed value or less.
(FR)L'invention concerne un procédé d'inspection de dispositif permettant de limiter la charge sur un moteur à déplacement d'étage à une valeur fixe ou inférieure. Un sondeur (10) comprend : un étage (11) doté d'un moteur dans la direction X et d'un moteur dans la direction Y pouvant se déplacer sur lequel une tranche (W) est montée, cette dernière supportant des dispositifs à semi-conducteurs avec des électrodes; et une carte de sonde (17) disposée de façon à être tournée vers l'étage (11). Les bosses de soudure (27) sont disposées de façon à correspondre aux électrodes du dispositif à semi-conducteurs, et la carte de sonde (17) comprend une électrode sonde (28) permettant de coopérer avec les bosses de soudure (27). Une fois que l'électrode sonde (28) coopère avec les bosses de soudure (27), lorsque les propriétés électriques des dispositifs à semi-conducteurs sont mesurées, le moteur dans la direction X ou le moteur dans la direction Y génère un couple de façon à empêcher le déplacement de l'étage (11), mais la valeur maximum du couple généré par le moteur dans la direction X ou par le moteur dans la direction Y est limitée à une valeur spécifiée ou moins.
(JA) ステージ移動用のモータの負荷を一定値以下に制限することができるデバイス検査方法を提供する。プローバ10は、電極を有する半導体デバイスが形成されたウエハWを載置してX方向モータやY方向モータによって移動可能なステージ11と、該ステージ11に対向するように配置されるプローブカード17とを備え、各半導体デバイスの電極に対応して半田バンプ27が配置され、プローブ力ード17は半田バンプ27と係合可能なプローブ電極28を有し、プローブ電極28を半田バンプ27に係合させた後であって、半導体デバイスの電気的特性を測定する際に、X方向モータやY方向モータはステージ11を移動させないようにトルクを発生するが、X方向モータやY方向モータが発生するトルクの最大値を所定値以下に制限する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)