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Pub. No.:    WO/2015/029459    International Application No.:    PCT/JP2014/052381
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 03.02.2014
G01F 1/696 (2006.01), G01F 1/68 (2006.01)
Applicants: HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD. [JP/JP]; 2520, Takaba, Hitachinaka-shi, Ibaraki 3128503 (JP)
Inventors: DOI Ryosuke; (JP).
TASHIRO Shinobu; (JP).
SUZUKI Kazunori; (JP).
MATSUMOTO Masahiro; (JP)
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2013-180852 02.09.2013 JP
(JA) 熱式流量センサ
Abstract: front page image
(EN)To provide a thermal flow sensor having enhanced measurement accuracy, a thermal flow sensor having an air flow detection element that has a diaphragm provided with a thin film portion in a semiconductor substrate and a correction circuit unit that has at least one heating resistor on the diaphragm and at least one resistance temperature detector for detecting temperature formed on the upstream side and the downstream side of the heating resistor and processes the output signal of the air flow detection element on the basis of temperature difference information for the at least two resistance temperature detectors on the upstream side and downstream side, is configured so that the waveform of the output signal processed by the correction circuit unit is such that a portion of a peak portion or valley portion forming the peak value of the waveform is cut at an arbitrary prescribed value through the output of the prescribed value when the peak value of the waveform exceeds the prescribed value.
(FR)L'invention concerne un capteur de flux thermique qui, dans le but d'avoir une précision de mesure améliorée, comporte un élément de détection de flux d'air qui possède un diaphragme pourvu d'une partie de film mince dans un substrat semi-conducteur et une unité de circuit de correction qui possède au moins une résistance chauffante sur le diaphragme et au moins un détecteur de température à résistance pour détecter la température formée sur le côté en amont et le côté en aval de la résistance chauffante et traite le signal de sortie de l'élément de détection de flux d'air sur base d'informations de différence de température pour les au moins deux détecteurs de température à résistance sur le côté en amont et le côté en aval, est conçu de sorte que la forme d'onde du signal de sortie traité par l'unité de circuit de correction est telle qu'une partie d'une partie de pic ou d'une partie de vallée formant la valeur de pic de la forme d'onde est coupée à une valeur prescrite arbitraire par la sortie de la valeur prescrite lorsque la valeur de pic de la forme d'onde dépasse la valeur prescrite.
(JA) 計測精度を向上した熱式流量センサを提供するために、半導体基板に薄膜部を備えたダイアフラムを有する空気流量検出素子と、前記ダイアフラム上に少なくとも一つの発熱抵抗体を有し、かつ、前記発熱抵抗体の上流側と下流側に少なくとも一つずつの温度を検出する測温抵抗体が形成されており、少なくとも上流側と下流側の二つの前記測温抵抗体の温度差情報に基づいて前記空気流量検出素子の出力信号として処理する補正回路部と、を有する熱式流量センサにおいて、前記補正回路部で処理される出力信号の波形は、波形のピーク値がある任意の所定値を超えた時に前記所定値が出力されることでピーク値を成す山部あるいは谷部の一部を前記所定値にカットした波形であるように構成した。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)