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1. (WO2015028211) RADIATION SOURCE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2015/028211    International Application No.:    PCT/EP2014/065905
Publication Date: 05.03.2015 International Filing Date: 24.07.2014
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01S 3/23 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01), G02B 27/09 (2006.01), G02B 26/06 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: NOORDMAN, Oscar; (NL).
EURLINGS, Markus; (NL)
Agent: SIEM, Max Yoe Shé; (NL)
Priority Data:
61/870,128 26.08.2013 US
Title (EN) RADIATION SOURCE AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) SOURCE DE RAYONNEMENT ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abstract: front page image
(EN)A radiation source includes a nozzle configured to direct a stream of fuel droplets along a droplet path towards a plasma formation location, and is configured to receive a gaussian radiation beam having gaussian intensity distribution, having a predetermined wavelength and propagating along a predetermined trajectory, and further configured to focus the radiation beam on a fuel droplet at the plasma formation location. The radiation source includes a phase plate structure including one or more phase plates. The phase plate structure has a first zone and a second zone. The zones are arranged such that radiation having the predetermined wavelength passing through the first zone and radiation having the predetermined wavelength passing through the second zone propagate along respective optical paths having different optical path lengths. A difference between the optical path lengths is an odd number of times half the predetermined wavelength.
(FR)La présente invention concerne une source de rayonnement comprenant une buse configurée pour diriger un flux de gouttelettes de combustible le long d’un trajet de gouttelette vers un emplacement de formation de plasma, et est configuré pour recevoir un faisceau de rayonnement gaussien ayant une distribution d’intensité gaussienne, ayant une longueur d’onde prédéterminée et se propageant le long d’une trajectoire prédéterminée, et configurée en outre pour focaliser le faisceau de rayonnement sur une gouttelette de combustible à l’emplacement de formation de plasma. La source de rayonnement comprend une structure de lame à retard comprenant une ou plusieurs lames à retard. La structure de lame à retard comporte une première zone et une deuxième zone. Les zones sont agencées de sorte que le rayonnement ayant la longueur d’onde prédéterminée traversant la première zone et le rayonnement ayant la longueur d’onde prédéterminée traversant la deuxième zone se propagent le long de trajets optiques respectifs ayant des longueurs de trajet optique différentes. Une différence entre les longueurs de trajet optique est un multiple impair de la moitié de la longueur d’onde prédéterminée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)