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1. (WO2014210359) TDI IMAGING SYSTEM WITH VARIABLE VOLTAGE READOUT CLOCK SIGNALS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/210359 International Application No.: PCT/US2014/044411
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 26.06.2014
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G01B 11/00 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors: ZHENG, Guowu; US
CHERN, Jehn-Huar Howard; US
BALAKRISHNAN, Binu; US
Agent: MCANDREWS, Kevin; US
Priority Data:
14/308,38318.06.2014US
61/839,76826.06.2013US
Title (EN) TDI IMAGING SYSTEM WITH VARIABLE VOLTAGE READOUT CLOCK SIGNALS
(FR) SYSTÈME D'IMAGERIE À REPORT ET INTÉGRATION COMPRENANT DES SIGNAUX D'HORLOGE DE LECTURE À TENSION VARIABLE
Abstract: front page image
(EN) A Time Delay and Integration (TDI) imaging system utilizing variable voltage readout clock signals having progressively increasing amplitudes defined as a function of pixel row location, where pixel rows positioned to receive/collect/transfer image-related charges at the start of the TDI imaging process are controlled using lower amplitude readout clock signals than pixel rows positioned to receive/collect/transfer image-related charges near the end of the TDI process. The clock signal amplitude for each pixel row is determined by the expected maximum amplitude needed to hold and transfer image charges by the pixels of that row. Multiple (e.g., three) primary phase signals are generated that are passed through splitters to provide multiple identical secondary phase signals, and then drivers having gain control circuitry are utilized to produce voltage readout clock signals having the same phases as the primary phase signals, but having two or more different voltage amplitudes.
(FR) L'invention concerne un système d'imagerie à report et intégration qui fait appel à des signaux d'horloge de lecture à tension variable possédant des amplitudes augmentant progressivement qui sont définies en fonction de l'emplacement de la rangée de pixels, les rangées de pixels disposées de façon à recevoir/collecter/transférer des charges liées aux images au démarrage du processus d'imagerie à report et intégration étant commandées au moyen de signaux d'horloge de lecture d'une amplitude plus faible que les rangées de pixels disposées de façon à recevoir/collecter/transférer des charges liées aux images à la fin du processus d'imagerie à report et intégration. L'amplitude des signaux d'horloge de chaque rangée de pixel est déterminée par l'amplitude maximale attendue nécessaire pour que les pixels de cette rangée retiennent et transfèrent les charges des images. De multiples signaux (p.ex. trois) à phase primaire sont générés et passés à travers des répartiteurs afin de produire de multiples signaux à phase secondaire identiques, et des circuits d'attaque comprenant des circuits de régulation de gain permettent de produire des signaux d'horloge de lecture possédant les mêmes phases que les signaux à phase primaire, mais au moins deux amplitudes de tension différentes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)