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1. (WO2014210059) METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING A FLOW RATIO CONTROLLER USING FEED-FORWARD ADJUSTMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/210059    International Application No.:    PCT/US2014/043947
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 24.06.2014
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: GREGOR, Mariusch; (US)
Agent: PORTNOVA, Marina; (US)
Priority Data:
61/841,179 28.06.2013 US
13/971,618 20.08.2013 US
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING A FLOW RATIO CONTROLLER USING FEED-FORWARD ADJUSTMENT
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF DE RÉGULATION DE RAPPORT DE DÉBIT UTILISANT UN RÉGLAGE PRÉDICTIF
Abstract: front page image
(EN)A processing device determines a plurality of initial flow setpoint commands, each of the plurality of setpoint commands corresponding to one of a plurality of valves, and sends each of the plurality of initial setpoint commands to a corresponding one of the plurality of valves. The processing device monitors the plurality of valves for a flow condition requiring and adjustment. Upon detecting the flow condition, the processing device predicts the adjustment based on previous setpoints, and determines a plurality of updated flow setpoint commands, each of which corresponds to one of the plurality of valves based on the the predicted adjustment. The processing device then sends each of the plurality of updated setpoint commands to the corresponding one of the plurality of valves.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement qui détermine une pluralité de commandes initiales de consigne d'écoulement, chacune de la pluralité de commandes de consigne correspondant à l'une d'une pluralité de vannes, et envoie chacune de la pluralité de commandes initiales de consigne à une vanne correspondante de la pluralité de vannes. Le dispositif de traitement surveille la pluralité de vannes pour une requête et un ajustement d'état d'écoulement. Lors de la détection de l'état d'écoulement, le dispositif de traitement prévoit l'ajustement sur la base de valeurs de consigne précédentes, et détermine une pluralité de commandes de consigne d'écoulement mises à jour, qui correspondent chacune à une vanne de la pluralité de vannes sur la base de l'ajustement prévu. Le dispositif de traitement envoie ensuite chacune de la pluralité de commandes de consigne mises à jour à une vanne correspondante de la pluralité de vannes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)