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1. (WO2014209525) APPARATUS AND TECHNIQUES FOR CONTROLLING ION ANGULAR SPREAD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/209525    International Application No.:    PCT/US2014/039568
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 27.05.2014
IPC:
H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventors: SINCLAIR, Frank; (US).
OLSON, Joseph C.; (US).
BELL, Edward W.; (US).
FELDMAN, Danielle; (US)
Agent: DAISAK, Daniel N.; Kacvinsky Daisak Bluni PLLC 3120 Princeton Pike Suite 303 Lawrenceville, New Jersey 08648 (US)
Priority Data:
61/839,516 26.06.2013 US
14/221,866 21.03.2014 US
Title (EN) APPARATUS AND TECHNIQUES FOR CONTROLLING ION ANGULAR SPREAD
(FR) APPAREIL ET TECHNIQUES PERMETTANT DE RÉGULER L'ÉTALEMENT ANGULAIRE DES IONS
Abstract: front page image
(EN)An electrostatic scanner to scan an ion beam in an ion implanter. The electrostatic scanner may include a first scan plate having a first inner surface that faces the ion beam, the first inner surface having a concave shape in a first plane that is perpendicular to a direction of propagation of the ion beam, and a second scan plate opposite the first scan plate separated by a gap to accept the ion beam the second scan plate having a second inner surface that faces the ion beam and a convex shape in the first plane, the first scan plate and second scan plate configured to generate an electrostatic field in the gap to scan the ion beam back and forth along a horizontal direction perpendicular to the direction of propagation of the ion beam.
(FR)La présente invention concerne un système de balayage électrostatique permettant de balayer un faisceau d'ions dans un implanteur d'ions. Le système de balayage électrostatique peut comprendre une première plaque de balayage dotée d'une première surface interne de forme concave dans un premier plan perpendiculaire à une direction de propagation du faisceau d'ions, et d'une seconde plaque de balayage opposée à la première plaque de balayage et séparée de cette dernière par un écart permettant d'accepter le faisceau d'ions, la seconde plaque de balayage étant dotée d'une seconde surface interne faisant face au faisceau d'ions et présentant une forme convexe dans le premier plan, la première plaque de balayage et la seconde plaque de balayage étant conçues pour générer un champ électrostatique dans l'écart afin de balayer le faisceau d'ions d'avant en arrière le long d'une direction horizontale perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau d'ions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)