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1. (WO2014209476) INJECTION OF A FILLER MATERIAL THROUGH IMPLOSION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/209476 International Application No.: PCT/US2014/034855
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 22.04.2014
IPC:
H01L 21/56 (2006.01) ,H01L 21/58 (2006.01) ,H01L 21/603 (2006.01) ,H01L 21/4763 (2006.01) ,B29C 70/72 (2006.01)
Applicants: GLOBALFOUNDRIES INC.; P.O. Box 309, Ugland House, Grand Kayman, Cayman Islands KY1-1104, KY
Inventors: GAYNES, Michael, A.; US
LEWANDOWSKI, Eric, P.; US
NAH, Jae-Woong; US
POLASTRE, Robert, J.; US
Agent: GROLZ, Edward, W.; Scully, Scott, Murphy & Presser 400 Garden City Plaza Suite 300 Garden City, NY 11530, US
Priority Data:
13/925,05024.06.2013US
Title (EN) INJECTION OF A FILLER MATERIAL THROUGH IMPLOSION
(FR) INJECTION D'UN MATÉRIAU DE CHARGE PAR IMPLOSION
Abstract: front page image
(EN) A method for providing a matrix material between a bonded pair of substrates with a homogeneous distribution of anisotropic filler particles is provided. Functionalized anisotropic filler particles are mixed uniformly with a matrix material to form a homogenous mixture. A bonded assembly of a first substrate and a second substrate with an array of electrical interconnect structures is placed within a vacuum environment. The homogenous mixture of the matrix material and the anisotropic filler particles is dispensed around the array of electrical interconnect structures. A gas is abruptly introduced into the vacuum environment to induce an implosion of the homogenous mixture. The implosion causes the homogenous mixture to fill the cavity between the first and second substrates without causing agglomeration of the anisotropic filler particles. The mixture filling the space between the first and second substrates has a homogenous distribution of the anisotropic filler particles.
(FR) La présente invention concerne un procédé de mise en place d'un matériau de matrice entre une paire de substrats collés ayant une répartition homogène de particules de charge anisotropes. Des particules de charge anisotropes fonctionnalisées sont uniformément mélangées à un matériau de matrice afin de former une matrice homogène. Un ensemble collé constitué d'un premier substrat et d'un second substrat comportant un réseau de est placé dans un environnement sous vide. Le mélange homogène du matériau de matrice et des particules de charge anisotropes est distribué autour du réseau de structures d'interconnexion électriques. Un gaz est brusquement introduit dans l'environnement sous vide afin d'induire une implosion du mélange homogène. L'implosion provoque le remplissage par le mélange homogène de la cavité entre les premier et second substrats sans provoquer d'agglomération des particules de charge anisotropes. Le mélange remplissant l'espace entre les premier et second substrats présente une répartition homogène des particules de charge anisotropes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)