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1. (WO2014208789) THIN FILM DEPOSITION DEVICE PROVIDED WITH SUPPLY UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/208789    International Application No.:    PCT/KR2013/005682
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 27.06.2013
IPC:
H01L 51/56 (2006.01), H01L 31/02 (2006.01)
Applicants: SNU PRECISION CO., LTD. [KR/KR]; (Bongcheon-dong) 576, Bongcheon-ro Gwanak-gu Seoul 151-818 (KR)
Inventors: Oh, Hyun Pil; (KR).
Jeon, Kwang Jin; (KR).
Park, Sang Hyun; (KR).
Oh, Kyu Woon; (KR).
Han, Chanhee; (KR).
LEE, Il Hwan; (KR)
Agent: CHO, Young Hyun; (Daeju Patent & Law Office) 8F, Gyeongmok Bldg., (Seocho-dong), 3, Seoun-ro Seocho-gu Seoul 137-070 (KR)
Priority Data:
10-2013-0073250 25.06.2013 KR
Title (EN) THIN FILM DEPOSITION DEVICE PROVIDED WITH SUPPLY UNIT
(FR) DISPOSITIF DE DÉPÔT DE FILM MINCE ÉQUIPÉ D'UNE UNITÉ D'ALIMENTATION
(KO) 공급유닛을 구비하는 박막증착장치
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a thin film deposition device provided with a supply unit. The thin film deposition device comprises: a supply unit for supplying raw materials; a gasification unit for gasifying the raw materials supplied from the supply unit; and a spray unit for spraying the raw materials gasified in the gasification unit at a substrate. The supply unit comprises: an injection part for continuously injecting the raw material; a conveying part connected to the injection part, having a filling groove, which is filled with the raw material, spirally formed along the outer peripheral surface thereof and conveying the filled raw material along the longitudinal direction thereof by rotation; a discharge part supplied with the raw material from the conveying part to transmit the same to the gasification unit side; a housing part for receiving the conveying part and having connection grooves respectively connected to the injection part and the discharge part; and a motor part connected to the conveying unit and rotating the conveying part such that the raw material filled in the filling groove is conveyed to the discharge part.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de dépôt de film mince équipé d'une unité d'alimentation. Le dispositif de dépôt de film mince comprend : une unité d'alimentation destinée à assurer une alimentation en matières premières ; une unité de gazéification destinée à gazéifier les matières premières fournies à partir de l'unité d'alimentation ; et une unité de pulvérisation destinée à pulvériser les matières premières gazéifiées dans l'unité de gazéification au niveau d'un substrat. L'unité d'alimentation comprend : une partie injection permettant d'injecter en continu la matière première ; une partie transport reliée à la partie injection, comportant une rainure de remplissage, qui est remplie avec la matière première, formée en spirale le long de sa surface périphérique externe et transportant la matière première ayant fait l'objet du remplissage le long de sa direction longitudinale par rotation ; une partie évacuation alimentée en matière première à partir de la partie transport en vue de transmettre celle-ci côté unité de gazéification ; une partie logement permettant de recevoir la partie transport et comportant des rainures de liaison reliées respectivement à la partie injection et à la partie évacuation ; et une partie moteur reliée à l'unité de transport et entraînant en rotation la partie transport de sorte que la matière première remplissant la rainure de remplissage soit transportée vers la partie évacuation.
(KO)본 발명의 공급유닛을 구비하는 박막증착장치에 관한 것으로서, 원료를 공급하는 공급유닛과 상기 공급유닛으로부터 공급받은 원료를 기화시키는 기화유닛과 상기 기화유닛에서 기화되는 원료를 기판에 분사하는 분사유닛을 포함하는 박막증착장치에 있어서, 상기 공급유닛은, 원료를 연속적으로 투입하는 투입부; 상기 투입부와 연결되며, 외주면을 따라 원료가 충진되는 충진홈이 나선형으로 형성되며, 회전하여 충진되는 원료를 길이방향을 따라 이송시키는 이송부; 상기 이송부로부터 원료를 공급받아 상기 기화유닛 측으로 전달하는 배출부; 상기 이송부를 수용하며, 상기 투입부 및 상기 배출부와 각각 연결되는 연결홈이 형성되는 하우징부; 상기 이송부에 연결되며, 상기 충진홈에 충진되는 원료가 배출부로 이송되도록 상기 이송부를 회전시키는 모터부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)