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1. (WO2014208634) MOBILE BODY APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/208634    International Application No.:    PCT/JP2014/066919
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 26.06.2014
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; (JP)
Priority Data:
2013-135714 28.06.2013 JP
Title (EN) MOBILE BODY APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL À CORPS MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIFS
(JA) 移動体装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法
Abstract: front page image
(EN)A supporting member (25) having a wafer table (WTB) mounted thereon is substantially kinematically supported using six rod members (231-233, 241-243) that are disposed on a slider (22). Furthermore, connecting members (29) are disposed to respectively face, in the non-contact manner with a predetermined gap therebetween, thin board-like (flat board-like) end sections (25c) that are provided at both the supporting member (25) ends in the Y axis direction. Consequently, vibration of the supporting member (25) having the wafer table (WTB) mounted thereon is eliminated by means of the connecting members (29) (squeeze dampers) facing the end sections (25c). Furthermore, since the supporting member (25) is kinematically supported using the rod members, deformation of the wafer table (WTB) with deformation of the slider (22) can be reduced.
(FR)L'invention concerne un appareil caractérisé en ce qu'un élément (25) de soutien, sur lequel est montée une platine pour tranches (WTB), est sensiblement soutenu cinématiquement à l'aide de six éléments (231-233, 241-243) de tiges disposés sur un coulisseau (22). En outre, des éléments (29) de liaison sont disposés de manière à faire face respectivement, sans contact et avec un écartement prédéterminé entre eux, à des sections (25c) d'extrémités semblables à des panneaux minces (semblables à des panneaux plats) qui sont placés aux deux extrémités de l'élément (25) de soutien dans la direction de l'axe y. Par conséquent, les vibrations de l'élément (25) de soutien sur lequel est monté la platine pour tranches (WTB) sont éliminées au moyen des éléments (29) de liaison (amortisseurs compressibles) faisant face aux sections (25c) d'extrémités. En outre, comme l'élément (25) de soutien est soutenu cinématiquement à l'aide des éléments de tiges, la déformation de la platine pour tranches (WTB) avec la déformation du coulisseau (22) peut être réduite.
(JA) スライダ(22)上に配置された6本のロッド部材(23~23、24~24)を介して、ウエハテーブル(WTB)が搭載された支持部材(25)を実質的にキネマティックに支持する。また、支持部材(25)のY軸方向両端に設けられた薄い板状(平板状)の縁部(25c)に所定の隙間を介して非接触で対向する連結部材(29)を配置する。これにより、ウエハテーブル(WTB)が搭載された支持部材(25)の振動が、縁部(25c)に対向する連結部材(29)(スクイズダンパ)によって除振される。また、支持部材(25)が複数のロッド部材を介してキネマティックに支持されているので、スライダ(22)の変形に伴うウエハテーブル(WTB)の変形を低減することが可能になる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)