WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2014208571) IMPRINT METHOD AND APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/208571    International Application No.:    PCT/JP2014/066753
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 18.06.2014
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: ITO, Toshiki; (JP).
YOSHIDA, Takashi; (JP).
SATO, Hitoshi; (JP).
KAWASAKI, Youji; (JP).
IIMURA, Akiko; (JP).
YAMASHITA, Keiji; (JP).
UENO, Takehiko; (JP)
Agent: ABE, Takuma; (JP)
Priority Data:
2013-133541 26.06.2013 JP
2014-121911 12.06.2014 JP
Title (EN) IMPRINT METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL D'IMPRESSION
Abstract: front page image
(EN)An imprint method includes: placing a light-curable composition on a workpiece substrate (placement); bringing the light-curable composition and a mold into contact with each other an atmosphere.of a condensable gas (contact); aligning the mold and the workpiece substrate (alignment); irradiating the light-curable composition with light to obtain a light-cured composition (irradiation); and separating the light-cured composition and the mold from each other after the irradiation (release). The film thickness of the light-curable composition during the alignment is 20% or more greater than that of the light- cured composition after the release.
(FR)Un procédé d'impression comprend : placer une composition durcissable à la lumière et un substrat de pièce à travailler (placement) ; mettre en contact la composition durcissable à la lumière et un moule l'un avec l'autre dans une atmosphère d'un gaz condensable (contact) ; aligner le moule et le substrat de pièce à travailler (alignement) ; irradier la composition durcissable à la lumière par une lumière pour obtenir une composition durcie à la lumière (irradiation) ; et séparer la composition durcie et le moule l'un de l'autre après l'irradiation (démoulage). L'épaisseur de film de la composition durcissable à la lumière pendant l'alignement est 20 % ou davantage plus grande que celle de la composition durcie à la lumière après le démoulage.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)