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1. (WO2014206594) TESTING DEVICE FOR ELECTRICALLY TESTING AN ELECTRICAL TEST SPECIMEN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/206594 International Application No.: PCT/EP2014/057671
Publication Date: 31.12.2014 International Filing Date: 15.04.2014
Chapter 2 Demand Filed: 23.01.2015
IPC:
G01R 1/04 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: FEINMETALL GMBH[DE/DE]; Zeppelinstrasse 8 71083 Herrenberg, DE
Inventors: GAUß, Ulrich; DE
NEUBAUER, Joachim; DE
TREUZ, Stefan; DE
HAAP, Jürgen; DE
Agent: GROßE, Rainer; Gleiss Große Schrell und Partner mbB Leitzstrasse 45 70469 Stuttgart, DE
Priority Data:
10 2013 010 934.529.06.2013DE
Title (EN) TESTING DEVICE FOR ELECTRICALLY TESTING AN ELECTRICAL TEST SPECIMEN
(FR) DISPOSITIF D'ESSAI PERMETTANT L'ESSAI ÉLECTRIQUE D'UN ÉCHANTILLON ÉLECTRIQUE
(DE) PRÜFVORRICHTUNG ZUR ELEKTRISCHEN PRÜFUNG EINES ELEKTRISCHEN PRÜFLINGS
Abstract: front page image
(EN) The invention relates to a testing device (1) for electrically testing an electrical test specimen (2), in particular a wafer, said testing device having a test head (4) in which at least one testing contact (5) is mounted for electrically contacting the test specimen (2). At least one outlet opening (13) for discharging a gas, in particular a protective gas, is provided in a wall (15) of the test head (4) in a contact region (14).
(FR) L'invention concerne un dispositif d'essai (1) permettant l'essai électrique d'un échantillon électrique (2), en particulier d'une plaquette, le dispositif comprenant une tête d'essai (4) dans laquelle est monté au moins un contact d'essai (5) servant à la mise en contact électrique physique de l'échantillon (2). Selon l'invention, au moins une ouverture de sortie (13) permettant le dégagement d'un gaz, en particulier d'un gaz inerte, dans une zone de mise en contact (14) est ménagée dans une paroi (15) de la tête d'essai (4).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung (1) zur elektrischen Prüfung eines elektrischen Prüflings (2), insbesondere eines Wafers, mit einem Prüfkopf (4), in dem wenigstens ein Prüfkontakt (5) zur elektrischen Berührungskontaktierung des Prüflings (2) gelagert ist. Dabei ist vorgesehen, dass in einer Wandung (15) des Prüfkopfs (4) zumindest eine Auslassöffnung (13) zur Ausbringung eines Gases, insbesondere eines Schutzgases, in einen Kontaktierbereich (14) vorgesehen ist.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)