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1. (WO2014203161) OPTICAL MEASURING DEVICE FOR RECORDING DIFFERENCES IN DISTANCE AND OPTICAL MEASURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/203161    International Application No.:    PCT/IB2014/062290
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 17.06.2014
IPC:
G01B 11/245 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01)
Applicants: PRECITEC OPTRONIK GMBH [DE/DE]; Schleussnerstrasse 54 63263 Neu-Isenburg (DE)
Inventors: MICHELT, Berthold; (DE).
KUNKEL, Matthias; (DE)
Agent: SCHWEIGER, Martin; Schweiger & Partner Karlstr. 35 80333 Munich (DE)
Priority Data:
102013010030.5 17.06.2013 DE
Title (DE) OPTISCHE MESSVORRICHTUNG ZUM ERFASSEN VON ABSTANDSDIFFERENZEN UND OPTISCHES MESSVERFAHREN
(EN) OPTICAL MEASURING DEVICE FOR RECORDING DIFFERENCES IN DISTANCE AND OPTICAL MEASURING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE SERVANT À DÉTECTER DES DIFFÉRENCES D'ESPACEMENT ET PROCÉDÉ DE MESURE OPTIQUE
Abstract: front page image
(DE)Optische Messvorrichtung zum Erfassen von Stufenhöhen und optisches Messverfahren Die Erfindung betrifft eine optische Messvorrichtung zur in situ Erfassung einer Abstandsdifferenz (6) zwischen einem Träger (8) und einem Randbereich (10) eines zu vermessenden Objekts (12). Die optische Messvorrichtung weist einen Messkopf (14) mit dualer Strahlführung (15), die einen ersten Messstrahl (16) auf den Träger (8) und einen zweiten Messstrahl (18) auf den Randbereich (10) des zu vermessenden Objekts (12) richtet, auf. Mittel sind zum Erfassen und Bilden von Reflexionsspektren des ersten auf den Träger (8) gerichteten Messstrahls (16) und des zweiten auf den Randbereich (10) des zu vermessenden Objekts (12) gerichteten Messstrahls (18) vorgesehen. Die Messvorrichtung weit ein mehrkanaliges Messgerät (34) mit einer Spektrometerzeile (72) auf. Eine Auswerteeinheit (32) für die Reflexionsspektren zum Erfassen der Stufenhöhe zwischen dem Träger (8) und dem Randbereich (10) des Objekts (12) steht mit einen Spektrometer (48) und einem Anzeigegerät (66) in Wirkverbindung.
(EN)Optical measuring device for recording heights of steps and optical measuring method. The invention relates to an optical measuring device for the in-situ recording of a difference in distance (6) between a carrier (8) and a peripheral region (10) of an object (12) to be measured. The optical measuring device has a measuring head (14) with dual-beam conduction (15), which directs a first measuring beam (16) onto the carrier (8) and a second measuring beam (18) onto the peripheral region (10) of the object (12) to be measured. Means for recording and forming reflection spectra of the first measuring beam (16), directed onto the carrier (8), and of the second measuring beam (18), directed onto the peripheral region (10) of the object (12) to be measured are provided. The measuring device has a multi-channel measuring unit (34) with a linear array spectrometer (72). An evaluation unit (32) for the reflection spectra, for recording the height of the step between the carrier (8) and the peripheral region (10) of the object (12), is in operative connection with a spectrometer (48) and a display unit (66).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure optique servant à détecter des hauteurs de palier et un procédé de mesure optique. L'invention concerne un dispositif de mesure optique servant à détecter sur site une différence d'espacement (6) entre un support (8) et une zone de bord (10) d'un objet (12) à mesurer. Le dispositif de mesure optique comporte une tête de mesure (14) dotée d'un double guidage de faisceaux (15), qui oriente un premier faisceau de mesure (16) sur le support (8) et un deuxième faisceau de mesure (18) sur la zone de bord (10) de l'objet (12) à mesurer. L'invention prévoit des moyens servant à détecter et à former des spectres de réflexion du premier faisceau de mesure (16) orienté sur le support (8) et du deuxième faisceau de mesure (18) orienté sur la zone de bord (10) de l'objet (12) à mesurer. Le dispositif de mesure comporte un appareil de mesure (34) à plusieurs canaux pourvu d'une ligne de spectromètre (72). Une unité d'analyse (32) pour les spectres de réflexion servant à détecter la hauteur de palier entre le support (8) et la zone de bord (10) de l'objet (12) est en liaison active avec un spectromètre (48) et un appareil d'affichage (66).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)