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1. (WO2014202648) METHOD FOR PRETREATING A SURFACE TO BE COATED
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/202648    International Application No.:    PCT/EP2014/062795
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 18.06.2014
IPC:
H01J 37/34 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: INNOVATIVE ION COATINGS LTD. [DE/DE]; Maarweg 32 Rheinbreitbach, 53619 (DE)
Inventors: ALAMI, Jones; (DE)
Agent: FRITZ & BRANDENBURG; Postfach 45 04 20 50879 Köln (DE)
Priority Data:
10 2013 106 351.9 18.06.2013 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR VORBEHANDLUNG EINER ZU BESCHICHTENDEN OBERFLÄCHE
(EN) METHOD FOR PRETREATING A SURFACE TO BE COATED
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉTRAITEMENT D'UNE SURFACE À REVÊTIR
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung einer Oberfläche eines Substrats, bei dem eine Vorbehandlung der zu beschichtenden Oberfläche in einem Ätzverfahren zwecks Reinigung der Oberfläche erfolgt, wobei die anschließende Beschichtung der Oberfläche des Substrats durch Magnetronsputtern, insbesondere durch Hochenergieimpulsmagnetronsputtern erfolgt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass mittels einer Anordnung von Spulen (17, 18) ein zusätzliches Magnetfeld erzeugt wird, dessen Feldlinien (19) sich im Wesentlichen quer zur Normalen zur Ebene wenigstens eines der Targets (12, 15) erstrecken, das mit Gleichspannungspulsen beaufschlagt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren gewährleistet eine effektivere und raschere Reinigung der zu beschichtenden Oberfläche als die bislang bekannten Verfahren.
(EN)The present invention relates to a method for coating a surface of a substrate, wherein the surface to be coated is pretreated in an etching process in order to clean the surface, wherein the subsequent coating of the surface of the substrate occurs via magnetron sputtering, particularly via high energy impulse magnetron sputtering. According to the invention, an additional magnetic field is generated by means of an assembly of coils (17, 18), said additional magnetic field having field lines (19) which extend substantially crosswise to the normal to the plane of at least one of the targets (12, 15), to which direct voltage impulses are applied. The method according to the invention ensures more effective and faster cleaning of the surface to be coated than the previously known method.
(FR)La présente invention concerne un procédé de revêtement d'une surface d'un substrat, selon lequel un prétraitement de la surface à revêtir a lieu dans un procédé de décapage à des fins de nettoyage de la surface, le revêtement subséquent de la surface du substrat ayant lieu par pulvérisation cathodique par magnétron, en particulier par pulvérisation cathodique par magnétron à impulsions de haute puissance. Selon l'invention, un champ magnétique supplémentaire dont les lignes de champ (19) s'étendent sensiblement transversalement à la normale au plan d'au moins une des cibles (12, 15) qui est soumis à des impulsions de tension continue est généré au moyen d'un ensemble bobines (17, 18). Le procédé selon l'invention garantit un nettoyage plus efficace et plus rapide de la surface à revêtir que les procédés connus jusqu'ici.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)