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1. (WO2014202608) METHOD FOR DETECTING X-RAYS AND DEVICE
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Pub. No.: WO/2014/202608 International Application No.: PCT/EP2014/062722
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 17.06.2014
IPC:
H01J 37/252 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01) ,G01N 23/225 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
252
Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23
Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation not covered by group G01N21/ or G01N22/159
22
by measuring secondary emission
225
using electron or ion microprobe
Applicants:
BRUKER NANO GMBH [DE/DE]; Am Studio 2 D 12489 Berlin, DE
Inventors:
TERBORG, Ralf; DE
Agent:
GULDE & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWALTSKANZLEI MBB; Wallstraße 58/59 10179 Berlin, DE
Priority Data:
10 2013 211 327.718.06.2013DE
Title (EN) METHOD FOR DETECTING X-RAYS AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE RAYONS X AINSI QUE DISPOSITIF
(DE) VERFAHREN ZUR DETEKTION VON RÖNTGENSTRAHLEN SOWIE VORRICHTUNG
Abstract:
(EN) The invention relates to an energy dispersive detection method for X-radiation, comprising the following steps: irradiating a sample (20) with a primary electron beam (11) while exciting an emission of X-radiation (13) and back-scattered electrons (12); providing a means (34) for reducing the back-scattered electrons (12), said means comprising at least two windows (33) with different transmission properties for back-scattered electrons (12); positioning one of the at least two windows between an X-ray detection element (31) and a sample (20); and detecting the X-radiation (13) by means of the X-ray detection element (31). According to the invention, the one of the at least two windows (33) is selected such that in a predetermined energy range in at least one characteristic X-ray peak the transmittance Tx for X-rays is at a maximum and the transmittance TBSE for back-scattered electrons is not more than 0.1.
(FR) L'invention concerne un procédé de détection de dispersion d'énergie de rayons X, comprenant les étapes suivantes: irradier un échantillon (20) avec un premier faisceau d'électrons primaire (11) en stimulant une émission de rayons X (13) et d'électrons rétrodiffusés (12), - fournir un moyen (34) pour réduire les électrons rétrodiffusés (12) comprenant au moins deux fenêtres (33) aux propriétés de transmission différentes pour électrons rétrodiffusés (12), positionner une desdites deux fenêtres entre un élément de détection de rayons X (31) et un échantillon (20) et - détecter les rayons X (13) au moyen de l'élément de détection de rayons X (31). Selon l'invention, une desdites deux fenêtres (33) est sélectionnée de manière que dans une plage d'énergie déterminée, le degré de transmission Tx pour rayons X soit maximal sur au moins un pic caractéristique de rayons X et le degré de transmission TBSE pour électrons rétrodiffusés soit au maximum de 0,1.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur energiedispersiven Detektion von Röntgenstrahlung, umfassend folgende Schritte: Bestrahlen einer Probe (20) mit einem Primärelektronenstrahl (11) unter Anregung einer Emission von Röntgenstrahlung (13) und Rückstreuelektronen (12), - Bereitstellen eines Mittels (34) zur Reduktion der Rückstreuelektronen (12), umfassend mindestens zwei Fenster (33) mit unterschiedlichen Transmissionseigenschaften für Rückstreuelektronen (12), Positionieren eines der mindestens zwei Fenster zwischen einem Röntgendetektionselement (31) und einer Probe (20) und - Detektieren der Röntgenstrahlung (13) mittels des Röntgendetektionselements (31). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, das eine der mindestens zwei Fenster (33) so gewählt wird, dass in einem vorbestimmten Energiebereich an zumindest einem charakteristischen Röntgenpeak der Transmissionsgrad Tx für Röntgenstrahlen maximal ist und der Transmissionsgrad TBSE für Rückstreuelektronen höchstens 0,1 beträgt.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)