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1. (WO2014202608) METHOD FOR DETECTING X-RAYS AND DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/202608    International Application No.:    PCT/EP2014/062722
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 17.06.2014
IPC:
H01J 37/252 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01)
Applicants: BRUKER NANO GMBH [DE/DE]; Am Studio 2 D 12489 Berlin (DE)
Inventors: TERBORG, Ralf; (DE)
Agent: GULDE & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWALTSKANZLEI MBB; Wallstraße 58/59 10179 Berlin (DE)
Priority Data:
10 2013 211 327.7 18.06.2013 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR DETEKTION VON RÖNTGENSTRAHLEN SOWIE VORRICHTUNG
(EN) METHOD FOR DETECTING X-RAYS AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE RAYONS X AINSI QUE DISPOSITIF
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur energiedispersiven Detektion von Röntgenstrahlung, umfassend folgende Schritte: Bestrahlen einer Probe (20) mit einem Primärelektronenstrahl (11) unter Anregung einer Emission von Röntgenstrahlung (13) und Rückstreuelektronen (12), - Bereitstellen eines Mittels (34) zur Reduktion der Rückstreuelektronen (12), umfassend mindestens zwei Fenster (33) mit unterschiedlichen Transmissionseigenschaften für Rückstreuelektronen (12), Positionieren eines der mindestens zwei Fenster zwischen einem Röntgendetektionselement (31) und einer Probe (20) und - Detektieren der Röntgenstrahlung (13) mittels des Röntgendetektionselements (31). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, das eine der mindestens zwei Fenster (33) so gewählt wird, dass in einem vorbestimmten Energiebereich an zumindest einem charakteristischen Röntgenpeak der Transmissionsgrad Tx für Röntgenstrahlen maximal ist und der Transmissionsgrad TBSE für Rückstreuelektronen höchstens 0,1 beträgt.
(EN)The invention relates to an energy dispersive detection method for X-radiation, comprising the following steps: irradiating a sample (20) with a primary electron beam (11) while exciting an emission of X-radiation (13) and back-scattered electrons (12); providing a means (34) for reducing the back-scattered electrons (12), said means comprising at least two windows (33) with different transmission properties for back-scattered electrons (12); positioning one of the at least two windows between an X-ray detection element (31) and a sample (20); and detecting the X-radiation (13) by means of the X-ray detection element (31). According to the invention, the one of the at least two windows (33) is selected such that in a predetermined energy range in at least one characteristic X-ray peak the transmittance Tx for X-rays is at a maximum and the transmittance TBSE for back-scattered electrons is not more than 0.1.
(FR)L'invention concerne un procédé de détection de dispersion d'énergie de rayons X, comprenant les étapes suivantes: irradier un échantillon (20) avec un premier faisceau d'électrons primaire (11) en stimulant une émission de rayons X (13) et d'électrons rétrodiffusés (12), - fournir un moyen (34) pour réduire les électrons rétrodiffusés (12) comprenant au moins deux fenêtres (33) aux propriétés de transmission différentes pour électrons rétrodiffusés (12), positionner une desdites deux fenêtres entre un élément de détection de rayons X (31) et un échantillon (20) et - détecter les rayons X (13) au moyen de l'élément de détection de rayons X (31). Selon l'invention, une desdites deux fenêtres (33) est sélectionnée de manière que dans une plage d'énergie déterminée, le degré de transmission Tx pour rayons X soit maximal sur au moins un pic caractéristique de rayons X et le degré de transmission TBSE pour électrons rétrodiffusés soit au maximum de 0,1.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)