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1. (WO2014202396) EUV IMAGING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/202396    International Application No.:    PCT/EP2014/061719
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 05.06.2014
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G02B 7/182 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventors: KUGLER, Jens; (DE).
HEMBACHER, Stefan; (DE).
SCHMID, Michaela; (CH)
Agent: HORN KLEIMANN WAITZHOFER PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ganghoferstr. 29a 80339 München (DE)
Priority Data:
10 2013 211 310.2 17.06.2013 DE
Title (EN) EUV IMAGING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'IMAGERIE UVE
Abstract: front page image
(EN)An EUV imaging apparatus is suggested, which comprises a reference structure (250, 400, 500), a first optical element (215), which is actuatable relative to the reference structure (250, 400, 500) with the aid of a first actuator (205), the first actuator (205) being a self-holding actuator, and a second optical element (315), which is actuatable relative to the reference structure (250, 400, 500) with the aid of a second actuator (300), the second actuator (300) being a non- self-holding actuator.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'imagerie UVE comprenant une structure de référence (250, 400, 500), un premier élément optique (215) qui peut être actionné par rapport à la structure de référence (250, 400, 500) à l'aide d'un premier actionneur (205), le premier actionneur (205) étant un actionneur à auto-maintien, et un second élément optique (315) qui peut être actionné par rapport à la structure de référence (250, 400, 500) à l'aide d'un second actionneur (300), le second actionneur (300) étant un actionneur autre qu'à auto-maintien.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)