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1. (WO2014201719) DETECTING APPARATUS AND DETECTING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/201719    International Application No.:    PCT/CN2013/078503
Publication Date: 24.12.2014 International Filing Date: 29.06.2013
IPC:
G02F 1/1333 (2006.01), G01N 21/94 (2006.01)
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD [CN/CN]; No.9-2,Tangming Road, Guangming New District Shenzhen, Guangdong 518132 (CN)
Inventors: LIN, Zhisheng; (CN)
Agent: GUANGDONG GUANGHE LAW FIRM; 20/F, Block A.World Trade Plaza FuHong Rd, Futian District Shenzhen, Guangdong 518033 (CN)
Priority Data:
201310243054.6 18.06.2013 CN
Title (EN) DETECTING APPARATUS AND DETECTING METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION
(ZH) 一种检测装置及检测方法
Abstract: front page image
(EN)A detecting apparatus. The detecting apparatus comprises a body (100), a rack (202), a shooting unit (210), a light emitting unit (300), and a light receiving unit (400). The shooting unit (210) is movably disposed on the rack (202). The shooting unit (210) is located above a to-be-detected substrate (100). The light emitting unit (300) and the light receiving unit (400) are separately located at opposite sides of the to-be-detected substrate (100). The light emitting unit (300) is used for irradiating light along a top surface of the to-be-detected substrate (100). The light receiving unit (400) is used for receiving the light irradiated by the light emitting unit (300).The detecting apparatus can determine existence of a foreign matter on a basis that whether the irradiated light is shielded as well as a shielded degree, thereby reliably preventing a nozzle from being damaged. Also provided is a detecting method.
(FR)L'invention concerne un appareil de détection. L'appareil de détection comporte un corps (100), un châssis (202), une unité (210) de tir, une unité (300) d'émission de lumière et une unité (400) de réception de lumière. L'unité (210) de tir est disposée de façon mobile sur le châssis (202). L'unité (210) de tir est située au-dessus d'un substrat (100) à détecter. L'unité (300) d'émission de lumière et l'unité (400) de réception de lumière sont situées séparément sur des côtés opposés du substrat (100) à détecter. L'unité (300) d'émission de lumière est utilisée pour irradier une lumière le long d'une surface supérieure du substrat (100) à détecter. L'unité (400) de réception de lumière est utilisée pour recevoir la lumière irradiée par l'unité (300) d'émission de lumière. L'appareil de détection peut déterminer l'existence d'un corps étranger en se basant sur le fait que la lumière irradiée est masquée ou non, ainsi que sur un degré de masquage, empêchant ainsi de manière fiable l'endommagement d'une buse. L'invention concerne également un procédé de détection.
(ZH)一种检测装置,其包括本体(200)、台架(202)、摄像单元(210)、光发射单元(300)及光接收单元(400),摄像单元(210)可移动地设置在台架(202)上,且摄像单元(210)位于待检测基板(100)上方,光发射单元(300)和光接收单元(400)分别位于待检测基板(100)的相对两侧,且光发射单元(300)用于沿所述待检测基板(100)的表面上方照射光,光接收单元(400)元用于接收光发射单元(300)照射的光。该检测装置可根据照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度,判断出异物的存在,可靠地防止喷嘴等损伤。还提供了一种检测方法。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)