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1. (WO2014201169) NON-CONTACT SHEET RESISTANCE MEASUREMENT OF BARRIER AND/OR SEED LAYERS PRIOR ELECTROPLATING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/201169 International Application No.: PCT/US2014/041994
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 11.06.2014
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue San Clara, CA 95054, US
Inventors: DAVID, Abraham; US
DZILNO, Dmitry, A.; US
EGAN, Todd. J.; US
MILLER, Robert, O.; US
Agent: WALLACE, Robert, M.; US
Priority Data:
14/066,00529.10.2013US
61/834,35312.06.2013US
Title (EN) NON-CONTACT SHEET RESISTANCE MEASUREMENT OF BARRIER AND/OR SEED LAYERS PRIOR ELECTROPLATING
(FR) MESURE SANS CONTACT DE RÉSISTANCE DE FEUILLE DE COUCHES BARRIÈRES ET/OU D'ENSEMENCEMENT PRÉALABLEMENT À UN DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE
Abstract: front page image
(EN) A measurement tool for measuring an electrical parameter of a metal film deposited on a front side of a workpiece includes an electrical sensor connected to a workpiece contact point, an energy beam source with a beam impact location on the front side, a holder and a translation mechanism capable of translating the holder relative to the workpiece support, the beam source supported on the holder, and a computer programmed to sense a behavior of an electrical parameter sensed by the sensor.
(FR) La présente invention concerne un outil de mesure pour la mesure d'un paramètre électrique d'un film métallique sur une face avant d'une pièce à travailler comportant un capteur électrique connecté à un point de contact de la pièce à travailler, une source de faisceau d'énergie avec un emplacement d'impact de faisceau sur la face avant, un élément de maintien et un mécanisme de translation capable d'effectuer une translation de l'élément de maintien par rapport au support de la pièce à travailler, la source de faisceau étant maintenu sur l'élément de maintien, et un ordinateur programmé pour détecter un comportement d'un paramètre électrique détecté par le capteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)