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1. (WO2014200606) PERFORMANCE IMPROVEMENT OF MEMS DEVICES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/200606    International Application No.:    PCT/US2014/031330
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 20.03.2014
IPC:
G01R 27/26 (2006.01)
Applicants: PURDUE RESEARCH FOUNDATION [US/US]; Office of Technology Commercialization 1281 Win Hentschel Blvd. West Lafayette, IN 47906 (US)
Inventors: CLARK, Jason; (US)
Agent: WHITE, Christopher, J.; (US)
Priority Data:
61/811,827 15.04.2013 US
61/811,789 14.04.2013 US
Title (EN) PERFORMANCE IMPROVEMENT OF MEMS DEVICES
(FR) AMÉLIORATIONS DES PERFORMANCES DE DISPOSITIFS DE SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE
Abstract: front page image
(EN)A microelectromechanical-systems (MEMS) device includes a driven mass and has a natural stiffness or damping. An actuator applies force to the mass, movement of which is measured by a sensing capacitor. A control circuit operates the actuator per displacement or velocity of the driven mass, so that a characteristic stiffness or damping of the mechanical subsystem is different from the respective natural value. A method of transforming a MEMS device design includes determining an aim performance value of the design and a baseline performance uncertainty of the design, selecting candidate sets of parameter values, determining a candidate, first, and second performance value for each, scoring the candidates, and repeating until one of the candidates satisfies a termination criterion, so the transformed design using that candidate set has the aim performance value and the respective first and second performance values closer to each other than the baseline performance uncertainty.
(FR)L'invention concerne un dispositif de système microélectromécanique (MEMS) qui comprend une masse entraînée et a une rigidité ou un amortissement naturel(le). Un actionneur applique une force à la masse, dont le mouvement est mesuré par un condensateur de détection. Un circuit de commande actionne l'actionneur par déplacement ou vitesse de la masse entraînée, de telle sorte qu'une rigidité ou un amortissement caractéristique du sous-système mécanique est différent(e) de la valeur naturelle respective. Un procédé de transformation d'un modèle de dispositif MEMS consiste à déterminer une valeur de performances d'objectif du modèle et une incertitude de performances de base du modèle, à sélectionner des ensembles candidats de valeurs de paramètre, à déterminer des première et seconde valeurs de performances candidates pour chacun, à établir le score des candidats, et à répéter jusqu'à ce que l'un des candidats satisfasse un critère d'achèvement, ainsi, le modèle transformé utilisant cet ensemble candidat a la valeur de performances d'objectif et les première et seconde valeurs de performances respectives plus proches l'une de l'autre que l'incertitude de performances de base.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)