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1. (WO2014199820) METHOD AND DEVICE FOR LINE PATTERN SHAPE EVALUATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/199820    International Application No.:    PCT/JP2014/064006
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 27.05.2014
IPC:
G01B 15/00 (2006.01), G01B 15/04 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: YAMAGUCHI Atsuko; (JP).
KAWADA Hiroki; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2013-122614 11.06.2013 JP
Title (EN) METHOD AND DEVICE FOR LINE PATTERN SHAPE EVALUATION
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR ÉVALUATION DE FORME DE MOTIF DE LIGNE
(JA) ラインパターンの形状評価方法及びその装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention pertains to a method and device for quantitatively evaluating the degree and characteristics of wiggling, which is a phenomenon that occurs in electronic device fabrication processes and consists of the deformation in the same shape of the left and right edges of fine line patterns, and takes advantage of the fact that this wiggling is included in measured values for line edge variation but not line width variation by acquiring the differences between these values. Further, the present invention is configured so as to calculate line center positions and use the distribution of the deviation from the average line center position as an indicator. Additionally, the present invention is configured to quantify wiggling characteristics by outputting a coefficient of wiggling correlation between lines or a wiggling component synchronized between lines as an indicator.
(FR)La présente invention porte sur un procédé et sur un dispositif pour évaluer quantitativement le degré et les caractéristiques de tortillement, qui est un phénomène qui se produit dans des processus de fabrication de dispositifs électroniques, et qui consiste en la déformation sous la même forme des bords gauche et droit de motifs en ligne fins, tirant parti du fait que ce tortillement est inclus dans des valeurs mesurées pour une variation de bord de ligne mais non pour une variation de largeur de ligne par l'acquisition de différences entre ces valeurs. De plus, la présente invention est configurée de façon à calculer des positions de centre de ligne et à utiliser la distribution de l'écart par rapport à la position de centre de ligne moyenne comme indicateur. De plus, la présente invention est configurée de façon à quantifier des caractéristiques de tortillement par la mise en sortie d'un coefficient de corrélation de tortillement entre des lignes ou une composante de tortillement synchronisée entre des lignes constituant un indicateur.
(JA)本発明は、電子デバイス作成工程で現れる微細なラインパターンの左右のエッジが同じ形で変形する現象、即ちうねりの度合いと特徴とを定量的に評価する手法及びその装置に関し、ラインエッジの変動の計測値は上記のうねりを含んでいるが、ライン幅の変動量は含んでいないことを利用し、これらの差分をとるようにした。また、ラインの中心の位置を算出し、その平均位置からのずれの分布を指標とするようにした。更に、ライン間のうねりの相関係数、あるいはライン間の同期しているうねり成分を指標として出力することで、うねりの特徴を定量化するようにした。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)