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1. (WO2014199709) CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE AND ADJUSTMENT METHOD FOR CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/199709 International Application No.: PCT/JP2014/060037
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 04.04.2014
IPC:
H01J 37/28 (2006.01) ,H01J 37/09 (2006.01) ,H01J 37/20 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28
with scanning beams
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
09
Diaphragms; Shields associated with electron- or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
20
Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors: SHIGETO Kunji; JP
SATO Mitsugu; JP
SAITO Tsutomu; JP
HOSOYA Kohtaro; JP
TAKAHOKO Yoshihiro; JP
ANDO Tohru; JP
Agent: KAICHI IP; 4-1, Nihonbashi-honcho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030023, JP
Priority Data:
2013-12559114.06.2013JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE AND ADJUSTMENT METHOD FOR CHARGED PARTICLE RADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION AVEC DES PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE POUR DISPOSITIF D'IRRADIATION AVEC DES PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の調整方法
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to enable even an operator having minimal experience to easily and correctly operate a highly versatile charged particle radiation device, and acquire high-resolution images. The device is provided with: a moveable objective aperture (6) having a plurality of objective apertures situated towards a charged particle source (1) side from an objective lens (12); a storage unit (43) for storing a plurality of irradiation conditions of a primary charged particle source (2); and an operation controller (41) that determines whether or not a currently arranged objective aperture is suitable for a selected irradiation condition, and if not suitable, displays a notification of the unsuitability on an image display unit (42), or if suitable, executes pre-adjustment to adjust the primary charged particle source (2) so as to be suitable for the selected irradiation condition, and stores the executed result in advance in the storage unit (43), as a parameter relating to the irradiation condition.
(FR) La présente invention a pour objet de permettre à un opérateur, même avec une expérience limitée, d'utiliser facilement et correctement un dispositif d'irradiation avec des particules chargées fortement polyvalent et d'acquérir des images à haute résolution. Le dispositif comprend : une ouverture d'objectif mobile (6) munie d'une pluralité d'ouvertures d'objectif situées en direction d'un côté de source de particules chargées (1) d'une lentille d'objectif (12) ; une unité de stockage (43) pour stocker une pluralité de conditions d'irradiation d'une source de particules chargées principale (2) ; et un contrôleur opérationnel (41) qui détermine si une ouverture d'objectif actuellement configurée convient ou non pour une condition d'irradiation sélectionnée et, si elle ne convient pas, affiche une notification du caractère inapproprié sur une unité d'affichage d'image (42) ou, si elle convient, effectue un préréglage afin de régler la source de particules chargées principale (2) de manière à ce qu'elle soit appropriée pour la condition d'irradiation sélectionnée, et stocke le résultat effectué à l'avance dans l'unité de stockage (43) en tant que paramètre associé à la condition d'irradiation.
(JA) 汎用性の高い荷電粒子線装置において、経験の少ない操作者でも、容易かつ正確に操作して、高分解能像を取得できるようにする。対物レンズ(12)より荷電粒子源(1)側に配置される複数の対物しぼりを有する可動対物しぼり(6)と、一次荷電粒子線(2)の複数の照射条件を記憶する記憶部(43)と、配置されている対物しぼりが選択された照射条件に適合するか否かを判断し、適合しない場合は、適合しないことを画像表示部(42)に表示し、適合する場合は、選択された照射条件に適合するように一次荷電粒子線(2)を調整する事前調整を実行し、実行した結果を照射条件に係るパラメータとして予め記憶部(43)に記憶させる動作制御部(41)とを備える。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)