WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2014199123) PROCESS GAS ABATEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/199123 International Application No.: PCT/GB2014/051631
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 29.05.2014
IPC:
F23G 7/00 (2006.01) ,F23G 7/06 (2006.01)
Applicants: EDWARDS LIMITED[GB/GB]; Manor Royal Crawley Sussex RH10 9LW, GB
Inventors: SEELEY, Andrew James; GB
Agent: CLARK, Charles Robert; Edwards Limited Manor Royal Crawley Sussex RH10 9LW, GB
Priority Data:
1310252.010.06.2013GB
Title (EN) PROCESS GAS ABATEMENT
(FR) ÉPURATION DE GAZ DE PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN) A process gas abatement apparatus and method are disclosed. The process gas abatement apparatus comprises: a burner comprising: a combustion chamber operable to receive an effluent gas stream from a manufacturing process tool to be treated within the combustion chamber at a sub-atmospheric pressure, the combustion chamber being further operable to receive a fuel, oxidant and diluent, the fuel, oxidant and diluent controlling combustion within the combustion chamber to treat the effluent gas stream to produce a treated exhaust stream, the diluent being condensable in the treated exhaust stream. By providing a diluent in the form of, for example, an inert condensable, the volume gain within the combustion chamber is reduced, which reduces the volume of the exhaust stream and reduces the volumetric load on the second pump. The volume gain reduces because the diluent shifts phase in the exhaust stream, thereby effectively removing the contribution of the diluent to the volume of the exhaust stream. This leads to considerable power saving since a lower volume of gas is output from the combustion chamber which would need to be brought up to the second pressure, for example atmospheric pressure, by means of the second pump.
(FR) L'invention concerne un appareil et un procédé d'épuration de gaz de procédé. L'appareil d'épuration de gaz de procédé comprend : un brûleur comprenant : une chambre de combustion exploitable pour recevoir un courant de gaz effluent provenant d'un outil de procédé de fabrication à traiter au sein de la chambre de combustion à une pression sub-atmosphérique, la chambre de combustion étant en outre exploitable pour recevoir un combustible, un oxydant et un diluant, le combustible, l'oxydant et le diluant commandant la combustion au sein de la chambre de combustion pour traiter le courant de gaz effluent pour produire un courant d'évacuation traité, le diluant étant condensable dans le courant d'évacuation traité. En fournissant un diluant sous la forme, par exemple, d'un composé condensable inerte, le gain de volume au sein de la chambre de combustion est réduit, ce qui réduit le volume du courant d'évacuation et réduit la charge volumétrique sur la seconde pompe. Le gain de volume diminue parce que le diluant change de phase dans le courant d'évacuation, ce qui supprime effectivement la contribution du diluant au volume du courant d'évacuation. Ceci entraîne une économie d'énergie considérable étant donné qu'un volume réduit de gaz est produit par la chambre de combustion, lequel devrait être amené à la seconde pression, par exemple, la pression atmosphérique, au moyen de la seconde pompe.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)