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1. (WO2014198304) DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING STRUCTURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/198304    International Application No.:    PCT/EP2013/062059
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 11.06.2013
Chapter 2 Demand Filed:    09.02.2015    
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: EV GROUP E. THALLNER GMBH [AT/AT]; DI Erich Thallner Straße 1 A-4782 St. Florian am Inn (AT)
Inventors: THALLNER, Bernhard; (AT)
Agent: SCHWEIGER, Johannes; Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen (DE)
Priority Data:
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ÜBERTRAGEN VON STRUKTUREN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING STRUCTURES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE STRUCTURES
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen einer Maskenabbildung aus in einer Maske (12) vorgesehenen Strukturen auf einem Substrat (14) mit mindestens einer Belichtungseinrichtung zum Belichten des Substrats (14) mit einem in einer Z-Richtung aus der Belichtungseinrichtung austretenden Strahlen gang, wobei die Form der Maskenabbildung durch Kompensationsmittel abhängig von einem zu kompensierenden Fehler änderbar ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein korrespondierendes Verfahren.
(EN)The invention relates to a device for generating a mask image of structures provided in a mask (12) on a substrate (14), said device having at least one illumination device for illuminating the substrate (14) with a light beam issuing from said illumination device in a Z-direction. The shape of the mask image can be changed by compensation means depending on an error to be compensated. The invention also relates to a corresponding method.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de produire une représentation d'un masque à partir de structures présentes dans un masque (12) sur un substrat (14), comprenant au moins un dispositif d'éclairage servant à éclairer le substrat (14) au moyen d'un rayonnement sortant du dispositif d'éclairage dans une direction Z, la forme de la représentation du masque pouvant être modifiée par des moyens de compensation en fonction d'un défaut à compenser. L'invention concerne par ailleurs un procédé associé.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)