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1. (WO2014198134) PIPELINE-COOLING GAS DISTRIBUTION DEVICE FOR METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION REACTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/198134    International Application No.:    PCT/CN2014/072685
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 28.02.2014
IPC:
C23C 16/455 (2006.01)
Applicants: 48TH RESEARCH INSTITUTE OF CHINA ELECTRONICS TECHNOLOGY GROUP CORPORATION [CN/CN]; No.1025 Xinkaipu Rd., Tianxin District Changsha, Hunan 410111 (CN)
Inventors: LUO, Caiwang; (CN).
WEI, Wei; (CN).
CHEN, Techao; (CN).
LUO, Hongyang; (CN)
Agent: LEADER PATENT & TRADEMARK FIRM; 8F-6, Bldg. A, Winland International Center, No. 32 Xizhimen North Street, Haidian District Beijing 100082 (CN)
Priority Data:
201310233117.X 13.06.2013 CN
Title (EN) PIPELINE-COOLING GAS DISTRIBUTION DEVICE FOR METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION REACTOR
(FR) DISPOSITIF DE DISTRIBUTION DE GAZ DE REFROIDISSEMENT DE CONDUIT DESTINÉ À UN RÉACTEUR À DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ORGANIQUE MÉTALLIQUE
(ZH) 一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置
Abstract: front page image
(EN)A pipeline-cooling gas distribution device for a metal organic chemical vapour deposition reactor, comprising a gas-spraying plate (210), a gas connecting plate (216) arranged above the gas-spraying plate (210), and at least three stacked gas distribution plates (212, 214, 215) arranged between the gas connecting plate (216) and the gas-spraying plate (210); cooling liquid pipelines (211, 213, 217, 218) arranged between the gas-spraying plate (210) and the lowest gas distribution plate (212) and between every two adjacent gas distribution plates (212, 214, 215), and the cooling liquid pipelines (211, 213, 217, 218) are made by bending a single pipeline or splicing and welding multiple pipelines. The gas distribution device is also provided with several gas channels (303c, 307c, 305c) which are isolated from each other, such as a first precursor gas channel (307), a second precursor gas channel (303) and a carrier gas channel (305), wherein the gas channels are connected with corresponding gas ports (202, 203, 206) and can independently feed corresponding gases into a reaction chamber (103). The use of pipeline-type cooling reduces the difficulty of manufacturing a spray head and improves the sealing property and sealing reliability of the cooling liquid pipelines in the spray head.
(FR)L'invention concerne un dispositif de distribution de gaz de refroidissement de conduit destiné à un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur organique métallique, comprenant une plaque de pulvérisation de gaz (210) au-dessus de laquelle est disposée une plaque de raccordement du gaz (216), et au moins trois plaques de distribution du gaz empilées (212, 214, 215) disposées entre la plaque de raccordement du gaz (216) et la plaque de distribution du gaz (210) ; des conduits de liquide de refroidissement (211, 213, 217, 218) disposés entre la plaque de pulvérisation du gaz (210) et la plaque de distribution du gaz la plus basse (212) et entre une plaque sur deux de distribution de gaz adjacentes (212, 214, 215), et les conduits de liquide de refroidissement (211, 213, 217, 218) sont formés par courbure d'un conduit unique ou épissage et soudage de plusieurs conduits. Le dispositif de distribution du gaz est également pourvu de plusieurs canaux pour le gaz (303c, 307c, 305c) qui sont isolés les uns des autres, tels qu'un premier canal précurseur (307), un second canal précurseur (303) et un canal de transport (305), les canaux pour le gaz étant raccordés à des orifices correspondants (202, 203, 206) et pouvant acheminer indépendamment des gaz correspondants dans une chambre de réaction (103). Lorsqu'on utilise le refroidissement de conduit, ceci réduit la difficulté de fabrication d'une tête de pulvérisation et améliore la propriété d'étanchéité et la fiabilité d'étanchéité des conduits de liquide de refroidissement dans la tête de pulvérisation.
(ZH)一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置,包括气体喷射板(210),气体喷射板(210)上方设有气体连接板(216),在气体连接板(216)与气体喷射板(210)之间设有至少三个层叠的气体分布板(212、214、215);在气体喷射板(210)与最下层的气体分布板(212)之间、相邻两层气体分布板(212、214、215)之间均设置有冷却液管道(211、213、217、218),冷却液管道(211、213、217、218)是由单根管道折弯或多根管道拼焊制成。气体分布装置上还设置有若干相互隔离的气体通道(303c、307c,305c),如第一前体气体通道(307)、第二前体气体通道(303)和载气通道(305),气体通道与相应的气体接口(202、203、206)连接,能够将相应的气体独立的送入反应室(103)。采用管式冷却降低了喷淋头的制造难度,且提高了喷淋头中冷却液管道的密封性能及密封可靠性。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)