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1. (WO2014198078) SOLUTION FOR TESTING MOISTURE CONTENT IN PHOTORESIST STRIPPING SOLUTION AND TESTING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/198078 International Application No.: PCT/CN2013/078542
Publication Date: 18.12.2014 International Filing Date: 30.06.2013
IPC:
G01N 33/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
33
Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/-G01N31/131
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD[CN/CN]; No.9-2,Tangming Road, Guangming New District Shenzhen, Guangdong 518132, CN
Inventors: XU, Rui; CN
Agent: GUANGDONG GUANGHE LAW FIRM; 20/F, Block A.World Trade Plaza FuHong Rd, Futian District Shenzhen, Guangdong 518033, CN
Priority Data:
201310232747.513.06.2013CN
Title (EN) SOLUTION FOR TESTING MOISTURE CONTENT IN PHOTORESIST STRIPPING SOLUTION AND TESTING METHOD
(FR) SOLUTION POUR TESTER LA TENEUR EN HUMIDITÉ DANS UNE SOLUTION DE RÉEXTRACTION DE RÉSINE PHOTOSENSIBLE ET PROCÉDÉ DE TEST
(ZH) 用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液及测试方法
Abstract:
(EN) Provided is a solution for testing moisture content in photoresist stripping solution, the photoresist stripping solution comprising organic fatty amine, and the test solution being aromatic organic acid; the aromatic organic acid neutralizes the organic fatty amine to make the photoresist stripping solution weakly acidic; the mass of the aromatic organic acid is 1.2-1.5 times the mass of an equivalent thereof; the organic fatty amine is monoethanolamine; the aromatic organic acid is benzoic acid or salicylic acid. Adding excess aromatic organic acid to the stripping solution of the organic fatty amine, controlling the proportion of the aromatic organic acid to the stripping solution, and pre-neutralizing the organic fatty amine in an inert solvent ensures complete reaction between the organic fatty amine and the aromatic organic acid, and prevents the PH value of the solution from being affected by the excess aromatic organic acid; the excess aromatic organic acid will not upset system balance, thus avoiding side reaction, ensuring accurate and quick measurement and easy and quick operation, and saving cost and improving test timeliness.
(FR) L'invention concerne une solution pour tester la teneur en humidité dans une solution de réextraction de résine photosensible, la solution de réextraction de résine photosensible comprenant une amine grasse organique et la solution de test étant un acide organique aromatique ; l'acide organique aromatique neutralise l'amine grasse organique pour rendre la solution de réextraction de résine photosensible faiblement acide ; la masse de l'acide organique aromatique représente 1,2-1,5 fois la masse d'un équivalent correspondant ; l'amine grasse organique est la monoéthanolamine ; l'acide organique aromatique est l'acide benzoïque ou l'acide salicylique. L'addition d'un excès d'acide organique aromatique à la solution de réextraction de l'amine grasse organique, la régulation de la proportion de l'acide organique aromatique dans la solution de réextraction et la préneutralisation de l'amine grasse organique dans un solvant inerte assure une réaction complète entre l'amine grasse organique et l'acide organique aromatique et empêche la valeur de pH de la solution d'être influencée par l'acide organique aromatique en excès ; l'acide organique aromatique en excès ne bouleversera pas l'équilibre du système, ce qui permet d'éviter une réaction secondaire et d'assurer une mesure précise et rapide et un fonctionnement facile et rapide et d'économiser des coûts et d'améliorer la rapidité du test.
(ZH) 本发明提供了一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液,所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺,所述测试溶液为芳香族有机酸,其中,通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺,使得光阻剥离液呈弱酸性。芳香族有机酸的质量为其当量质量的1.2~1.5倍,所述有机脂肪胺为单乙醇胺,所述芳香族有机酸为苯甲酸或水杨酸。在有机脂肪胺类的剥离液中加入过量的芳香族有机酸类,控制芳香族有机酸与剥离液的比例,在惰性溶剂中预先中和有机脂肪胺,既能保证有机脂肪胺与芳香族有机酸能完全反应,又不会使得芳香族有机酸过量太多以至于影响溶液的PH值,过量的芳香族有机酸不会破坏体系的平衡,避免副反应的发生,量测准确快速,操作简便快速,能节约测试成本和测试时效。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)