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1. (WO2014197814) SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR POLARIZATION CONTROL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/197814    International Application No.:    PCT/US2014/041330
Publication Date: 11.12.2014 International Filing Date: 06.06.2014
IPC:
G02F 1/01 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US)
Inventors: MALEEV, Ivan; (US).
PETTIBONE, Donald; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; KLA-Tencor Corp. Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US)
Priority Data:
61/831,950 06.06.2013 US
14/296,425 04.06.2014 US
Title (EN) SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR POLARIZATION CONTROL
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMMANDE DE POLARISATION
Abstract: front page image
(EN)A polarization control device includes a first wave plate having a first surface profile and a second wave plate having a second surface profile complimentary to the first surface profile. The optical axis of the first wave plate is orthogonal to the optical axis of the second wave plate. The first wave plate and the second wave plate are positioned to align the first surface profile with the second surface profile and maintain a constant thickness across the polarization control device. The first wave plate and the second wave plate may control polarization rotation as a continuous function of transverse position across a pupil plane of an optical system. The first wave plate and the second wave plate are separated by a sufficiently small distance so as to limit wave front distortion below a selected level.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de commande de polarisation comprenant une première lame de phase ayant un premier profil de surface et une seconde lame de phase ayant un second profil de surface complémentaire au premier profil de surface. L'axe optique de la première lame de phase est orthogonal à l'axe optique de la seconde lame de phase. La première lame de phase et la seconde lame de phase sont positionnées afin d'aligner le premier profil de surface avec le second profil de surface et de maintenir une épaisseur constante sur tout le dispositif de commande de polarisation. La première lame de phase et la seconde lame de phase peuvent commander une rotation de polarisation en tant que fonction continue de position transversale sur un plan pupillaire d'un système optique. La première lame de phase et la seconde lame de phase sont séparées d'une distance suffisamment petite pour limiter une distorsion de front d'onde en dessous d'un niveau sélectionné.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)