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1. (WO2014197494) METHOD FOR AUTO-LEARNING TOOL MATCHING
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Pub. No.: WO/2014/197494 International Application No.: PCT/US2014/040735
Publication Date: 11.12.2014 International Filing Date: 03.06.2014
IPC:
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H ELECTRICITY
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BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Testing or measuring during manufacture or treatment
Applicants:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive, Milpitas Milpitas, California 95035, US
Inventors:
RAQUEL, Francis; US
MANZER, Matthew; US
LEE, Christopher W.; US
Agent:
MCANDREWS, Kevin; US
Priority Data:
14/270,14805.05.2014US
61/831,04604.06.2013US
Title (EN) METHOD FOR AUTO-LEARNING TOOL MATCHING
(FR) PROCÉDÉ POUR UN AUTO-APPRENTISSAGE D'ADAPTATION D'OUTIL
Abstract:
(EN) The present disclosure is directed to a method of tool matching that employs an auto-learning feedback loop to update a library of key parameters. According to the method, measurements are performed on a control wafer to collect a set of parameters associated with the process/analysis tool that is being matched. When deviated parameters correlate to a correctable tool condition (i.e. a tool matching event), the parameters are added to the library of key parameters. These key or critical parameters may be monitored on a more frequent basis to identify deviations that have a strong likelihood of matching with a correctable tool condition. The tool matching methodology advantageously allows for monitoring of an automatically updated list of key parameters instead of needing to look at the full set of parameters collected from a control wafer each time. As such, tool matching can be performed on a more frequent basis.
(FR) La présente invention porte sur un procédé d'adaptation d'outil qui emploie une boucle de rétroaction à auto-apprentissage pour mettre à jour un répertoire de paramètres clés. Selon le procédé, des mesures sont réalisées sur une tranche de commande pour collecter un ensemble de paramètres associés à l'outil de traitement/analyse qui est adapté. Lorsque des paramètres déviés sont en corrélation avec une condition d'outil corrigeable (par exemple, un événement d'adaptation d'outil), les paramètres sont ajoutés au répertoire de paramètres clés. Ces paramètres clés ou critiques peuvent être surveillés sur une base plus fréquente pour identifier des déviations qui possèdent une forte probabilité d'adaptation avec une condition d'outil corrigeable. La méthodologie d'adaptation d'outil permet avantageusement de surveiller une liste mise à jour automatiquement de paramètres clés au lieu d'avoir besoin de regarder l'ensemble complet de paramètres collectés depuis une tranche de commande à chaque fois. Ainsi, une adaptation d'outil peut être réalisée sur une base plus fréquente.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)