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1. (WO2014193867) ALUMINIUM DOPANT COMPOSITIONS, SUB-ATMOSPHERIC STORAGE AND DELIVERY PACKAGE CONTAINING SUCH COMPOSITIONS, AND METHOD OF STORING AND DELIVERING SUCH COMPOSITIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/193867    International Application No.:    PCT/US2014/039641
Publication Date: 04.12.2014 International Filing Date: 28.05.2014
IPC:
H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 39 Old Ridgebury Road Danbury, CT 06810 (US)
Inventors: SINHA, Ashwini, K.; (US).
BROWN, Lloyd, A.; (US)
Agent: DALAL, Nilay, S.; (US)
Priority Data:
61/827,934 28.05.2013 US
14/287,840 27.05.2014 US
Title (EN) ALUMINIUM DOPANT COMPOSITIONS, SUB-ATMOSPHERIC STORAGE AND DELIVERY PACKAGE CONTAINING SUCH COMPOSITIONS, AND METHOD OF STORING AND DELIVERING SUCH COMPOSITIONS
(FR) COMPOSITIONS DOPANTES COMPRENANT DE L'ALUMINIUM, ENSEMBLE DE STOCKAGE ET DE DISTRIBUTION SUB-ATMOSPHÉRIQUES CONTENANT CES COMPOSITIONS, ET PROCÉDÉ DE STOCKAGE ET DE DISTRIBUTION DE CES COMPOSITIONS
Abstract: front page image
(EN)A method and system for using aluminum dopant compositions is provided. A composition of the aluminum dopant compositions is selected, represented by the formula AlxRyLz, where R is a methyl group, L is CI, F, I or Br, and x is either 1 or 2, whereby if x = 1, then Y = 1 or 2, and if x = 2 then y = 2x - 4, and z = 3x-y for x =1 or 2. The composition has sufficient vapor pressure and minimal carbon content, thereby enabling ease of delivery to an ion implant process and substantial reduction of carbon deposition during Al ion implantation. The source material is preferably stored and delivered from a sub-atmospheric storage and delivery device to enhance safety and reliability during the Al ion implantation process.
(FR)L'invention a trait à un procédé et à un système qui permettent d'utiliser des compositions dopantes comprenant de l'aluminium. Une composition est sélectionnée parmi les compositions dopantes comprenant de l'aluminium, cette composition étant représentée par la formule AlxRyLz où R est un groupe méthyle, L correspond à de la CI, du F, de l'I ou du Br, et x est égal à 1 ou 2. Si x = 1, alors Y = 1 ou 2, et si x = 2, alors y = 2x - 4, et z = 3x-y pour x = 1 ou 2. La composition présente une pression de vapeur suffisante et une teneur en carbone minimale, ce qui facilite la distribution en vue d'un processus d'implantation ionique et permet une diminution notable du dépôt de carbone lors de l'implantation d'ions Al. La matière brute est de préférence stockée et distribuée à partir d'un dispositif de stockage et de distribution sub-atmosphériques afin d'accroître la sécurité et la fiabilité au cours du processus d'implantation d'ions Al.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)