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1. (WO2014192465) ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON MICROSCOPE CONTROL METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2014/192465 International Application No.: PCT/JP2014/061302
Publication Date: 04.12.2014 International Filing Date: 22.04.2014
IPC:
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors: KITAGAWA, Kenji; JP
TANAKA, Akira; JP
Ando, Tohru; JP
SAITO, Tsutomu; JP
Agent: ISSHIKI & CO.; Rookin-Shinbashi Bldg., 12-7, Shinbashi 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004, JP
Priority Data:
2013-11088227.05.2013JP
Title (EN) ELECTRON MICROSCOPE AND ELECTRON MICROSCOPE CONTROL METHOD
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
(JA) 電子顕微鏡および電子顕微鏡制御方法
Abstract: front page image
(EN) The calculation unit (210) of this electron microscope (200) performs the following processing: (A) processing in which each observation image obtained using a process in which a sample (231) is observed is associated with an observation condition at the time of imaging of each observation image and the result is stored in a storage unit (213); (B) processing for displaying an observation image (1) of the observation site of the sample (231) at the present time, a predetermined number of history images (3) that are stored in the storage unit (213), and a wide-area image (2) that is one of the history images (3) on a display unit (211); and (C) processing for displaying a predetermined figure (127) in which the relative positions, ranges, and orientations of the observation image (1) and the predetermined number of history images (3) within the wide-area image (2) are indicated within the wide-area image (2). As a result, a user can intuitively recognize the relationship between a whole sample and each observation site on the basis of the observation state (the observation position, orientation, inclination, magnification rate, and the like) of each observation site, and the task of visual searching is thus rendered more efficient and simplified.
(FR) L'unité de calcul (210) du microscope électronique (200) selon l'invention met en œuvre les traitements suivants : (A) un traitement au cours duquel chaque image d'observation obtenue au moyen d'un processus au cours duquel un échantillon (231) est observé, est associée à un état d'observation au moment de la prise de chaque image d'observation et le résultat est mis en mémoire dans une unité mémoire (213); (B) un traitement comprenant l'affichage d'une image d'observation (1) du site d'observation de l'échantillon (231) au moment présent, un nombre prédéterminé d'images antérieures (3) stockées dans l'unité mémoire (213), et une image grand champ (2), qui est une des images antérieures (3), sur une unité d'affichage (211); et (C) un traitement comprenant l'affichage d'une figure prédéterminée (127) dans laquelle les positions, plages et orientations relatives de l'image d'observation (1) et du nombre prédéterminé des images antérieures (3) dans l'image grand champ (2) sont indiquées à l'intérieur de l'image grand champ (2). Il en résulte qu'un utilisateur peut reconnaître de manière intuitive la relation entre un échantillon entier et chaque site d'observation sur la base de l'état d'observation (la position, l'orientation, l'inclinaison d'observation, le taux d'agrandissement et analogues) de chaque site d'observation, et la tâche de recherche visuelle est ainsi rendue plus efficace et simplifiée.
(JA) 本発明の電子顕微鏡(200)の演算部(210)は、(ア)試料(231)の観察過程で取得した各観察画像と前記各観察画像の撮像時における観察条件とを対応付けて記憶部(213)に格納する処理と、(イ)現時点での試料(231)における観察部位の観察画像(1)と、記憶部(213)に格納してある所定数の履歴画像(3)と、履歴画像(3)のうち1つである広域画像(2)とを、表示部(211)に表示する処理と、(ウ)広域画像(2)中で観察画像(1)および所定数の履歴画像(3)の広域画像(2)における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形(127)を表示する処理とを行う。これにより、ユーザが、各観察部位の観察状況(観察の位置、向き、傾き、倍率など)を踏まえつつ、試料全体と各観察部位との関係を直感的に認識することが可能になるので、視野探しの作業が効率的かつ容易になる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)