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Pub. No.: WO/2014/192173 International Application No.: PCT/JP2013/075569
Publication Date: 04.12.2014 International Filing Date: 20.09.2013
G01N 23/223 (2006.01)
Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation not covered by group G01N21/ or G01N22/159
by measuring secondary emission
by irradiating the sample with X-rays and by measuring X-ray fluorescence
株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
古川 博朗 FURUKAWA, Hiroaki; JP
小林 寛治 KOBAYASHI, Kanji; JP
特許業務法人京都国際特許事務所 KYOTO INTERNATIONAL PATENT LAW OFFICE; 京都府京都市下京区東洞院通四条下ル元悪王子町37番地 豊元四条烏丸ビル Hougen-Sizyokarasuma Building, 37, Motoakuozi-tyo, Higasinotouin Sizyo-sagaru, Simogyo-ku, Kyoto-si, Kyoto 6008091, JP
Priority Data:
(JA) 蛍光X線分析装置
(EN) The present invention addresses the problem of providing an X-ray fluorescence analyzer capable of restraining reduction in analysis accuracy for light elements having atomic numbers lower than 23 and making a helium gas conversion operation within an analysis chamber more efficient. This X-ray fluorescence analyzer is provided with an X-ray tube (12) for irradiating primary X-rays onto a sample (S) on a sample stage (14) having an X-ray passage port (141), a detector (13) for detecting X-ray fluorescence emitted by the sample (S), an analysis chamber (16) having an inlet port (17) for the primary X rays from the X-ray tube (12) and a detection port (181) for the detector (13) and having therein a light path for the primary X-rays traveling from the inlet port (17) to the X-ray passage port (141) and a light path for the X-ray fluorescence traveling from the X-ray passage port (141) to the detection port (181), first and second introduction tubes (201, 202) for introducing helium gas supplied from a helium gas cylinder (22) into the analysis chamber (16) via the inlet port (17) and the detection port (181), and a flow rate control valve (24) for controlling the flow rate of the helium gas flowing through the first and second introduction tubes (201, 202).
(FR) La présente invention résout le problème consistant à fournir un analyseur par fluorescence X capable de limiter la baisse de précision de l’analyse pour les éléments légers possédant un numéro atomique inférieur à 23 et de rendre plus efficace l’opération de transformation d'hélium gazeux dans la chambre d’analyse. Cet analyseur par fluorescence X comporte un tube à rayon X (12) permettant d'irradier des rayons X primaires sur un échantillon (S) disposé sur une platine d’échantillon (14) possédant un port de passage de rayons X (141), un détecteur (13) pour détecter la fluorescence X émise par l’échantillon (S), une chambre d’analyse (16) possédant un port d’entrée (17) pour les rayons X primaires provenant du tube à rayons X (12) et un port de détection (181) pour le détecteur (13) et ayant en son sein un chemin lumineux pour les rayons X primaires voyageant du port d'entrée (17) vers le port de passe à rayons X (141) ainsi qu'un chemin lumineux pour la fluorescence X voyageant du port de passage à rayons X (141) vers le port de détection (181). L’analyseur par fluorescence X selon l'invention comporte également un premier tube d'introduction (201) et un second tube d'introduction (202) pour introduire l’hélium gazeux fourni par une bouteille à hélium gazeux (22) dans la chambre d’analyse (16) par le biais du port d’entrée (17) et du port de détection (181), et une valve de régulation de débit (24) pour réguler le débit d'hélium gazeux s’écoulant dans les premier et second tubes d'introduction (201, 202).
(JA)  原子番号が23未満の軽元素の分析精度の低下を抑えつつ、分析チャンバ内のヘリウムガス置換作業の効率化を図ることができる蛍光X線分析装置を提供することを課題とする。本発明の蛍光X線分析装置は、X線通過口141を有する試料台14上の試料Sに一次X線を照射するためのX線管球12、試料Sから発せられる蛍光X線を検出するための検出器13、X線管球12からの一次X線の導入口17、検出器13の検出口181を有し、導入口17からX線通過口141に向かう一次X線の光路及びX線通過口141から検出口181に向かう蛍光X線の光路を内部に有する分析チャンバ16、ヘリウムガスボンベ22から供給されるヘリウムガスを導入口17及び検出口181を通して分析チャンバ16内に導入するための第1及び第2導入管201及び202、第1及び第2導入管201、202を流れるヘリウムガスの流量を制御する流量制御バルブ24を備える。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)