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1. WO2014191163 - METHOD OF SIMULATING FORMATION OF LITHOGRAPHY FEATURES BY SELF-ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMERS

Publication Number WO/2014/191163
Publication Date 04.12.2014
International Application No. PCT/EP2014/059097
International Filing Date 05.05.2014
IPC
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
G03F 7/00 (2006.01)
CPC
G03F 7/0002
G06F 2119/18
G06F 30/20
G06F 30/398
Applicants
  • ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven, NL
Inventors
  • WUISTER, Sander; NL
  • DRUZHININA, Tamara; NL
  • VAN MALE, Jan; NL
  • KLEIN-WOLTERINK, Joanne; NL
  • AMBESI, Davide; NL
Agents
  • WEENINK, Willem; De Run 6665 NL-5504 DT Veldhoven, NL
Priority Data
61/829,11830.05.2013US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD OF SIMULATING FORMATION OF LITHOGRAPHY FEATURES BY SELF-ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMERS
(FR) PROCÉDÉ DE SIMULATION DE LA FORMATION DE MOTIFS LITHOGRAPHIQUES PAR AUTO-ASSEMBLAGE DE COPOLYMÈRES À BLOCS
Abstract
(EN)
A method of determining an uncertainty in the position of a domain within a self- assembly block copolymer (BCP) feature. The method includes simulating a BCP feature, calculating a minimum energy position of a first domain within the simulated BCP feature, simulating the application of a potential that causes the position of the first domain to be displaced from the minimum energy position, simulating release of the potential back toward the minimum energy, recording a plurality of energies of the BCP feature during the release and recording at each of the plurality of energies a displacement of the first domain from the minimum energy position, calculating, from the recorded energies and recorded displacements, a probability distribution indicating a probability of the first domain being displaced from the minimum energy position, and, from the probability distribution, calculating an uncertainty in the position of the first domain within the BCP feature.
(FR)
L'invention concerne un procédé de détermination d'une incertitude dans la position d'un domaine dans un motif de copolymère à blocs (CPB) à auto-assemblage. Le procédé comprend la simulation d'un motif de CPB, le calcul d'une position d'énergie minimale d'un premier domaine dans le motif de CPB simulé, la simulation de l'application d'un potentiel qui provoque le déplacement depuis la position du premier domaine de la position d'énergie minimale, la simulation de la libération du potentiel pour revenir à l'énergie minimale, l'enregistrement d'une pluralité d'énergies de motif de CPB pendant la libération et l'enregistrement à chacune des énergies de la pluralité d'un déplacement du premier domaine depuis la position d'énergie minimale, le calcul, à partir des énergies enregistrées et des déplacements enregistrés, d'une distribution de probabilités indiquant une probabilité pour que le premier domaine soit déplacé de la position d'énergie minimale, et, d'après la distribution de probabilités, le calcul d'une incertitude dans la position du premier domaine à l'intérieur du motif de CPB.
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau