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1. (WO2014191092) MEMS-SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/191092    International Application No.:    PCT/EP2014/001373
Publication Date: 04.12.2014 International Filing Date: 21.05.2014
IPC:
B81B 3/00 (2006.01), G01C 19/5747 (2012.01), G01P 15/08 (2006.01)
Applicants: TRONICS MICROSYSTEMS S.A. [FR/FR]; 98 rue du Pré de l'Horme F-38926 Crolles (FR)
Inventors: BOILLOT, François-Xavier; (FR).
LAOUBI, Rémi; (FR)
Agent: ROSHARDT, Werner, A.; Keller & Partner Patentanwälte AG Eigerstrasse 2, Postfach 3000 Bern 14 (CH)
Priority Data:
13290121.6 31.05.2013 EP
Title (EN) MEMS-SENSOR
(FR) CAPTEUR MEMS
Abstract: front page image
(EN)A sensor for measuring physical parameters such as acceleration, rotation, magnetic field, comprises a substrate (13) defining a substrate plane and at least one sensing plate (11, 12) suspended above the substrate (13) for performing a movement having at least a first component in a sensing direction. The sensing direction is orthogonal to the substrate plane. There is at least one detection arm (14.1, 14.2) that is suspended above the substrate (13) for performing a rotational movement about a rotation axis parallel to the substrate plane. An out-of-plane coupling structure (17.1, 17.4) is used to couple the first component of the movement of said sensing plate (11, 12) to said detection arm (14.1, 14.2) for generating the rotational movement of the detection arm (14.1, 14.2). A rotation detection structure cooperates with the detection arm (14.1, 14.2) for detecting the rotational movement of the detection arm (14.1, 14.2) with respect to the substrate plane. A pivot element (17.2, 17.3) is arranged at a distance from the out-of-plane coupling structure (17.1, 17.4), said pivot element (17.2, 17.3) coupling the sensing plate to a geometric reference plane (19), which is at a fixed distance above the substrate plane, so that the sensing plate (11, 12) performs a tilting out-of-plane movement.
(FR)La présente invention concerne un capteur pour mesurer des paramètres physiques tels qu'une accélération, une rotation, un champ magnétique, comprenant un substrat (13) définissant un plan de substrat et au moins une plaque de détection (11, 12) suspendue au-dessus du substrat (13) pour exécuter un mouvement ayant au moins une première composante dans une direction de détection. La direction de détection est orthogonale au plan du substrat. Il y a au moins un bras de détection (14.1, 14.2) qui est suspendu au-dessus du substrat (13) pour exécuter un mouvement de rotation autour d'un axe de rotation parallèle au plan du substrat. Une structure de couplage hors plan (17.1, 17.4) est utilisée pour coupler la première composante du mouvement de ladite plaque de détection (11, 12) audit bras de détection (14.1, 14.2) pour générer le mouvement de rotation du bras de détection (14.1, 14.2). Une structure de détection de rotation coopère avec le bras de détection (14.1, 14.2) pour détecter le mouvement de rotation du bras de détection (14.1, 14.2) par rapport au plan du substrat. Un élément formant pivot (17.2, 17.3) est disposé à une certaine distance de la structure de couplage hors plan (17.1, 17.4), ledit élément formant pivot (17.2, 17.3) couplant la plaque de détection à un plan de référence géométrique (19), qui se trouve à une distance fixe au-dessus du plan de substrat, de telle sorte que la plaque de détection (11, 12) exécute un mouvement de basculement hors plan.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)