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1. (WO2014189252) SHAPE MEASURING DEVICE USING FREQUENCY SCANNING INTERFEROMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/189252    International Application No.:    PCT/KR2014/004490
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 20.05.2014
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants: KOH YOUNG TECHNOLOGY INC. [KR/KR]; 14F, 15F, 53, Gasan digital 2-ro, Geumcheon-gu Seoul 153-706 (KR)
Inventors: SER, Jang-Il; (KR).
KIM, Hong-Ki; (KR)
Agent: CHANG, Duck Soon; Kim & Chang, Seyang B/D 39 Sajikno-8-gil, Jongno-gu Seoul 110-720 (KR)
Priority Data:
10-2013-0056523 20.05.2013 KR
10-2014-0060382 20.05.2014 KR
Title (EN) SHAPE MEASURING DEVICE USING FREQUENCY SCANNING INTERFEROMETER
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE FORME UTILISANT UN INTERFÉROMÈTRE À BALAYAGE DE FRÉQUENCE
(KO) 주파수 주사 간섭계를 이용한 형상 측정장치
Abstract: front page image
(EN)A shape measuring device comprises a light source unit, light splitting unit, reference mirror, light receiving unit and processing unit. The light source unit produces light and can change the wavelength of the light. The light splitting unit splits the light produced from the light source unit into at least reference light and measurement light. The reference mirror reflects the reference light. The light receiving unit receives reference light that has been reflected in such a way as to form a reference light pathway by means of the reference mirror, and measurement light that has been reflected in such a way as to form a measurement light pathway by means of a light-permeable object to be measured formed on a substrate. The processing unit computes the shape of the object to be measured on the basis of changes in interference resulting from changes in the wavelength of light between the reference light and the measurement light received by the light receiving unit, and computes the absolute height of a first area of the object to be measured and the relative height of a second area with respect to the first area of the object to be measured, and matches the absolute height of the first area and the relative height of the second area so as to compute the shape of the object to be measured. Consequently, the shape of the object to be measured can be effectively measured.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme comprenant une unité source de lumière, une unité de division de lumière, un miroir de référence, une unité de réception de lumière et une unité de traitement. L'unité source de lumière produit de la lumière et peut faire varier la longueur d'onde de la lumière. L'unité de division de lumière divise la lumière produite à partir de l'unité source de lumière au moins en une lumière de référence et en une lumière de mesure. Le miroir de référence réfléchit la lumière de référence. L'unité de réception de lumière reçoit la lumière de référence qui a été réfléchie de sorte à former une voie de lumière de référence au moyen du miroir de référence, et la lumière de mesure qui a été réfléchie de sorte à former une voie de lumière de mesure au moyen d'un objet perméable à la lumière formé sur un substrat. L'unité de traitement calcule la forme de l'objet à mesurer sur la base de variations dans l'interférence obtenues à partir de variations dans la longueur d'onde de la lumière entre la lumière de référence et la lumière de mesure reçues par l'unité de réception de lumière, et calcule la hauteur absolue d'une première zone de l'objet à mesurer et la hauteur relative d'une seconde zone par rapport à la première zone de l'objet à mesurer, et met en correspondance la hauteur absolue de la première zone et la hauteur relative de la seconde zone de sorte à calculer la forme de l'objet à mesurer. Par conséquent, la forme de l'objet à mesurer peut être mesurée de manière efficace.
(KO)형상 측정장치는 광원부, 광 분리부, 기준 미러, 광수신부 및 처리부를 포함한다. 광원부는 광을 발생시키되 광의 파장을 변화시킬 수 있다. 광 분리부는 광원부로부터 발생된 광을 적어도 기준광 및 측정광으로 분리한다. 기준 미러는 기준광을 반사시킨다. 광수신부는 기준 미러에 의해 기준 광경로를 형성하도록 반사되는 기준광 및 기판 상에 형성된 광투과성을 갖는 측정대상물에 의해 측정 광경로를 형성하도록 반사되는 측정광을 수신한다. 처리부는 광수신부에 의해 수신되는 기준광 및 측정광 사이의 광의 파장의 변화에 따른 간섭의 변화를 기초로 측정대상물의 형상을 산출하되, 측정대상물의 제1 영역의 절대 높이 및 측정대상물의 제1 영역에 대한 제2 영역의 상대 높이를 산출하고 제1 영역의 절대 높이 및 제2 영역의 상대 높이를 매칭하여 측정대상물의 형상을 산출한다. 이에 따라, 효과적으로 측정대상물의 형상을 측정할 수 있다.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Korean (KO)
Filing Language: Korean (KO)