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1. (WO2014189055) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/189055    International Application No.:    PCT/JP2014/063376
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 20.05.2014
Chapter 2 Demand Filed:    27.10.2014    
IPC:
H05G 2/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: SAITO Takashi; (JP).
IWAMOTO Fumio; (JP).
WAKABAYASHI Osamu; (JP).
YABU Takayuki; (JP)
Agent: EBISU INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Gate City Ohsaki,East Tower 22F,11-2 Osaki 1-chome,Shinagawa-ku, Tokyo 1410032 (JP)
Priority Data:
2013-106815 21.05.2013 JP
Title (EN) EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PRODUCTION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) 極端紫外光生成装置
Abstract: front page image
(EN)To stabilize a state of a droplet to be outputted to the inside of a chamber. This extreme ultraviolet light generating apparatus may be provided with: a target supplying unit, which outputs, as a droplet, a target to the inside of a chamber, said target generating extreme ultraviolet light when irradiated with laser light in the chamber; a droplet measuring instrument, which measures parameters relating to a state of the droplet outputted to the inside of the chamber; a pressure adjuster, which adjusts pressure in the target supplying unit having the target stored therein; and a target generation control unit, which controls the pressure adjuster on the basis of the parameters measured by means of the droplet measuring apparatus.
(FR)La présente invention consiste à stabiliser un état d'une gouttelette devant être sortie vers l'intérieur d'une chambre. Un appareil de production de lumière ultraviolette extrême peut être doté : d'une unité de fourniture de cibles, qui sort, sous la forme d'une gouttelette, une cible vers l'intérieur d'une chambre, ladite cible produisant une lumière ultraviolette extrême lorsqu'elle est exposée à une lumière laser dans la chambre; un instrument de mesure de gouttelettes, qui mesure des paramètres relatifs à un état de la gouttelette sortie vers l'intérieur de la chambre; un système d'ajustement de pression, qui ajuste la pression dans l'unité de fourniture de cibles, dans laquelle la cible est stockée; et une unité de commande de production de cibles, qui commande le système d'ajustement de pression sur la base des paramètres mesurés au moyen de l'appareil de mesure de gouttelettes.
(JA) チャンバ内に出力されるドロップレットの状態を安定化する。 極端紫外光生成装置は、チャンバ内でレーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットをドロップレットとして前記チャンバ内に出力するターゲット供給部と、前記チャンバ内に出力された前記ドロップレットの状態に関するパラメータを計測するドロップレット計測器と、前記ターゲットが収容された前記ターゲット供給部内の圧力を調節する圧力調節器と、前記ドロップレット計測器で計測された前記パラメータに基づいて前記圧力調節器を制御するターゲット生成制御部と、を備えてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)