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1. (WO2014188817) PRESSURE SENSOR, AND MASS FLOW METER AND MASS FLOW CONTROLLER USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/188817    International Application No.:    PCT/JP2014/060673
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 15.04.2014
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP)
Inventors: SUZUKI Kengo; (JP).
SAKAGUCHI Isao; (JP).
KAZAMA Atsushi; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2013-109618 24.05.2013 JP
Title (EN) PRESSURE SENSOR, AND MASS FLOW METER AND MASS FLOW CONTROLLER USING SAME
(FR) CAPTEUR DE PRESSION, DÉBITMÈTRE MASSIQUE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT MASSIQUE L'UTILISANT
(JA) 圧力センサ及びそれを用いたマスフローメータ並びにマスフローコントローラ
Abstract: front page image
(EN)The present invention addresses the problem of obtaining a pressure sensor having improved output offset at the initial zero point of a strain sensor and improved zero-point output variation accompanying temperature changes. To solve the abovementioned problem, this pressure sensor is characterized in being provided with a diaphragm that is formed from a first material and comprises a thin-film portion that is deformed by pressure and a support portion and a strain sensor that is connected to the top of the diaphragm and has a plurality of strain gauges formed in a second material, and is characterized in that the strain sensor is connected to an end position away from the center of the diaphragm, a step is formed on the diaphragm in a direction that is perpendicular to the direction from the center of the diaphragm in which the strain sensor has been connected, and the step is adjacent to or a prescribed distance away from the strain sensor.
(FR)La présente invention vise à obtenir un capteur de pression ayant un décalage de sortie amélioré au point zéro initial d'un capteur de tension et une variation de sortie améliorée au point zéro accompagnant les changements de température. Pour résoudre le problème précité, ce capteur de pression est caractérisé en ce qu'il comprend une membrane qui est formée d'une première matière et comporte une partie film mince, qui est déformée par une pression, et une partie support, et un capteur de tension qui est relié à la partie supérieure de la membrane et a une pluralité de tensiomètres formés d'une seconde matière. L'invention est caractérisée en ce que le capteur de tension est relié à une position d'extrémité éloignée du centre de la membrane, un épaulement est formé sur la membrane dans une direction qui est perpendiculaire à la direction partant du centre de la membrane, dans laquelle le capteur de tension a été relié, et l'épaulement est adjacent au capteur de tension ou situé à une distance prescrite de ce dernier.
(JA) ひずみセンサの初期ゼロ点の出力オフセット及び温度変化に伴うゼロ点の出力変動を改善した圧力センサを得ること。本発明の圧力センサは、上記課題を解決するために、圧力により変形する薄膜部と支持部から成る第1の材料で形成されたダイアフラムと、該ダイアフラム上に接合され、第2の材料に複数のひずみゲージを形成しているひずみセンサとを備え、前記ひずみセンサが前記ダイアフラムの中心から離れた端部位置に接合されており、しかも、前記ダイアフラム中心から前記ひずみセンサが接合された方向に対して垂直な方向で、かつ、前記ひずみセンサと隣接又は所定距離離れたダイアフラム上に段差が形成されていることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)