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1. (WO2014188785) FLOW RATE CONTROL VALVE AND MASS FLOW CONTROLLER USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/188785    International Application No.:    PCT/JP2014/059087
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 28.03.2014
IPC:
G05D 7/06 (2006.01), F16K 7/16 (2006.01)
Applicants: HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058614 (JP)
Inventors: UMEYAMA Takahiro; (JP).
WATANABE Keiko; (JP).
SHIMIZU Toshihiko; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2013-109493 24.05.2013 JP
Title (EN) FLOW RATE CONTROL VALVE AND MASS FLOW CONTROLLER USING SAME
(FR) SOUPAPE DE RÉGULATION DE DÉBIT ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE DÉBIT MASSIQUE L'UTILISANT
(JA) 流量制御弁及びそれを用いたマスフローコントローラ
Abstract: front page image
(EN)Provided is a flow rate control valve capable of eliminating an extra operation of a diaphragm spacer after the valve is closed to thereby shorten a response time. A flow rate control valve comprises an annular valve seat (115), a diaphragm (116) having a fixed outer peripheral portion and produced from a thin plate-shaped elastic body, and a diaphragm spacer (117) located on the side opposite to the valve seat (115) with the diaphragm (116) interposed therebetween, the annular valve seat (115), the diaphragm (116), and the diaphragm spacer (117) being coaxially disposed. The flow rate control valve has a structure in which annular valve seat (115) has, at the top thereof, an inclined surface (123) inclined to the inner peripheral side, the diaphragm (116) is displaced toward the valve seat (115) by the pressing force of the diaphragm spacer (117), and thereby the inclined surface (123) at the top of the valve seat (115) and the diaphragm (116) come into contact with each other with no space therebetween.
(FR)L'invention porte sur une soupape de régulation de débit apte à éliminer une manœuvre supplémentaire d'une entretoise de membrane, une fois que la soupape est fermée afin de réduire un temps de réponse. Selon l'invention, une soupape de régulation de débit comprend un siège de soupape annulaire (115), une membrane (116) ayant une partie périphérique extérieure fixe et faite d'un corps élastique mince en forme de plaque, et une entretoise de membrane (117) située sur le côté opposé au siège de soupape (115), avec interposition de la membrane (116) entre eux, le siège de soupape annulaire (115), la membrane (116) et l'entretoise de membrane (117) étant disposés coaxialement. La soupape de régulation de débit a une structure dans laquelle un siège de soupape annulaire (115) comporte, à son extrémité supérieure, une surface inclinée (123) qui est inclinée vers le côté périphérique intérieur, la membrane (116) est déplacée vers le siège de soupape (115) par la force de pression de l'entretoise de membrane (117) et, ainsi, la surface inclinée (123) à l'extrémité supérieure du siège de soupape (115) et la membrane (116) entrent en contact l'une avec l'autre sans laisser d'espace entre elles.
(JA) 弁が閉状態になってからのダイアフラムスペーサの余分な動作を解消し、応答時間の短縮化が可能な流量制御弁を提供する。 環状の弁座(115)と、外周部が固定された薄板状の弾性体からなるダイアフラム(116)と、このダイアフラム(116)を挟み弁座(115)と反対側に位置するダイアフラムスペーサ(117)とを有し、環状の弁座(115)とダイアフラム(116)とダイアフラムスペーサ(117)とが同軸上に配置されている。そして、環状の弁座(115)は、その頭頂部に内周側へ傾斜する傾斜面(123)を有し、ダイアフラムスペーサ(117)の押圧力により、ダイアフラム(116)が弁座(115)の方向へ変位し、弁座(115)の頭頂部の傾斜面(123)とダイアフラム(116)が隙間なく当接する構造とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)