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1. (WO2014188696) PLASMA TREATMENT DEVICE AND FILTER UNIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/188696    International Application No.:    PCT/JP2014/002614
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 19.05.2014
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), C23C 16/505 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H03H 7/01 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: OKUNISHI, Naohiko; (JP)
Agent: SASAKI, Seikoh; SASAKI & ASSOCIATES, 303 Surugadai Saikachizaka Building, 2-11-16, Kanda-surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Priority Data:
2013-110201 24.05.2013 JP
Title (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE AND FILTER UNIT
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PLASMATIQUE ET UNITÉ DE FILTRAGE
(JA) プラズマ処理装置及びフィルタユニット
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To improve the repeatability and reliability of a plasma process by efficiently, stably, and robustly applying a sufficiently high impedance to harmful high-frequency noise of a plurality of frequencies entering lines such as power-feeding lines or signal wires from high-frequency electrodes and/or other electrical members inside a treatment vessel. [Solution] In this filter unit (54(IN)), air-core solenoid coils (AL1, BL1), first capacitors (AC1, BC1), toroidal coils (AL2, BL2), and second capacitors (AC2, BC2) are laid out, in that order from top to bottom, inside a housing (82) comprising a grounded cylindrical conductor. A plurality of rod-shaped comb-tooth members (86) that are parallel to a coil-axis direction are provided at regular circumferential intervals around the air-core solenoid coils (AL1, BL2), next to the outer surfaces thereof. Comb teeth (M) that fit between the windings of the solenoid coils (AL1, BL1) are formed on the inside surfaces of said comb-tooth members (86).
(FR)[Problème] Améliorer la répétabilité et la fiabilité d’un procédé plasmatique en appliquant d’une manière efficace, stable et robuste une impédance suffisamment élevée au bruit haute fréquence nuisible d’une pluralité de fréquences entrant dans des lignes telles que des lignes d’alimentation ou des fils de signal partant d’électrodes haute fréquence et/ou d’autres éléments électriques situés à l'intérieur d’une enceinte de traitement. [Solution] Dans cette unité de filtrage (54 (IN)), des bobines de solénoïde à air (AL1, BL1), des premiers condensateurs (AC1, BC1), des bobines toroïdales (AL2, BL2) et des deuxièmes condensateurs (AC2, BC2) sont disposés dans cet ordre, de haut en bas, à l’intérieur d’un logement (82) comprenant un conducteur cylindrique relié à la terre. Les éléments d’une pluralité d’éléments de dent de peigne en forme de tige (86), qui sont parallèles à la direction de l’axe des bobines, sont disposés à intervalles circonférentiels réguliers autour des bobines de solénoïde à air (AL1, BL2), à côté de leurs surfaces externes. Des dents de peigne (M) qui se placent entre les enroulements des bobines de solénoïde (AL1, BL1) sont formées sur les surfaces intérieures desdits éléments de dent de peigne (86).
(JA)【課題】処理容器内の高周波電極その他の電気的部材から給電ラインや信号線等の線路上に入ってくる有害な複数の周波数の高周波ノイズに対して、効率的かつ安定確実に十分高いインピーダンスを与えて、プラズマプロセスの再現性・信頼性を向上させる。 【解決手段】フィルタユニット54(IN)は、接地された円筒状の導体からなる筺体82の中に、空芯ソレノイドコイルAL1,BL1、第1のコンデンサAC1,BC1、トロイダルコイルAL2,BL2および第2のコンデンサAC2,BC2を上から下にこの順序で配置している。両空芯ソレノイドコイルAL1,BL1の周囲には、それらの外周面に隣接して、コイル軸方向と平行に延びる棒状の櫛歯部材86が周回方向に一定の間隔を置いて複数本設けられている。各々の櫛歯部材86の内側面には、両ソレノイドコイルAL1,BL1の巻線間に食い込む櫛歯Mが形成されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)