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1. (WO2014188681) PLASMA TREATMENT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/188681    International Application No.:    PCT/JP2014/002549
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 14.05.2014
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H01P 1/20 (2006.01), H03H 7/01 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome,, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: OKUNISHI, Naohiko; (JP)
Agent: SASAKI, Seikoh; SASAKI & ASSOCIATES, 303 Surugadai Saikachizaka Building, 2-11-16, Kanda-surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
Priority Data:
2013-106895 21.05.2013 JP
Title (EN) PLASMA TREATMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To adjust or optimize a resonant frequency by arbitrarily shifting same without reducing impedance functionality or withstand-voltage characteristics with respect to high-frequency noise entering lines such as power-feeding lines or signal wires from high-frequency electrodes and/or other electrical members inside a treatment vessel when making use of multiple-parallel resonance characteristics of distributed-parameter lines to reject said high-frequency noise. [Solution] In this filter unit, solenoid coils (104(1), 104(2)) are divided into a plurality of segments (K1, K2, …) in a coil-axis direction and a separate winding pitch (pi) is selected for each segment (Ki, with i = 1, 2, …). Comb teeth (M) that fit between the windings of said solenoid coils (104(1), 104(2)) are formed on the inside surfaces of a plurality of rod-shaped comb-tooth members (114) provided around the solenoid coils (104(1), 104(2)).
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention consiste à ajuster ou à optimiser une fréquence de résonance en modifiant arbitrairement cette dernière sans réduire les caractéristiques de fonctionnalité d'impédance ou de tension de résistance par rapport à du bruit haute fréquence entrant dans des lignes telles que des lignes d'alimentation en énergie ou des fils de signaux provenant d'électrodes haute fréquence et/ou d'autres éléments électriques à l'intérieur d'un récipient de traitement lors de l'utilisation de caractéristiques de résonance multiparallèle des lignes à paramètre distribué afin de rejeter ledit bruit haute fréquence. La solution proposée consiste en des bobines de solénoïde (104(1), 104(2)) qui, dans cette unité de filtre, sont divisées en une pluralité de segments (K1, K2,…) dans une direction d'axe de bobine et un pas de bobinage distinct (pi) est sélectionné pour chaque segment (Ki, avec i = 1, 2, …). Des dents de peigne (M) qui se fixent entre les enroulements desdites bobines de solénoïde (104(1), 104(2)), sont formées sur les surfaces intérieures d'une pluralité d'éléments de dent de peigne en forme de tige (114) agencés autour des bobines de solénoïde (104(1), 104(2)).
(JA)【課題】処理容器内の高周波電極その他の電気的部材から給電ラインや信号線等の線路上に入ってくる高周波のノイズを分布定数線路の多重並列共振特性を利用して遮断する場合に、高周波ノイズに対するインピーダンス機能や耐電圧特性を低下させずに、共振周波数を任意にシフトして調整または最適化すること。 【解決手段】このフィルタユニットにおいては、巻線ピッチに関して、両ソレノイドコイル104(1),104(2)は、コイル軸方向において複数の区間K1,K2,・・に分割されており、各区間Ki(i=1,2,・・)毎に独立した巻線ピッチpiが選定される。ソレノイドコイル104(1),104(2)の周囲に設けられる複数本の棒状櫛歯部材114の内側面には、両ソレノイドコイル104(1),104(2)の巻線間に食い込む櫛歯Mが形成されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)