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1. (WO2014187792) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/187792    International Application No.:    PCT/EP2014/060280
Publication Date: 27.11.2014 International Filing Date: 20.05.2014
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01F 13/00 (2006.01), H02K 41/02 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: FRISSEN, Petrus; (NL).
DE FOCKERT, George; (NL).
JANSEN, Gerardus; (NL)
Agent: VERDONK, Peter; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Priority Data:
61/826,892 23.05.2013 US
Title (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract: front page image
(EN)A magnetization tool for post-assembly magnetization of a magnet assembly including a main coil, an end surface of the main coil configured to be positioned substantially parallel to an outer surface of the magnet assembly for magnetizing a magnetic pole of the magnet assembly, the main coil being configured to generate a magnetic field and a shielding arrangement positioned adjacent the main coil in a plane substantially parallel to the end surface of the main coil, whereby the shielding arrangement is configured to generate a shielding magnetic field, whereby a resulting magnetic field of the shielding magnetic field and the magnetic field is substantially only protruding the magnetic pole of the magnet assembly and directly adjacent magnetic poles of the magnet assembly such that the magnetic pole of the magnet assembly and the directly adjacent magnetic poles of the magnetic pole have a substantially opposite polarity.
(FR)L'invention concerne un outil de magnétisation destiné à la magnétisation après assemblage d'un ensemble à aimant. Cet outil comprend une bobine principale dont une surface d'extrémité est configurée pour être positionnée sensiblement parallèlement à une surface extérieure de l'ensemble à aimant, de façon à magnétiser un pôle magnétique de l'ensemble à aimant. La bobine principale est configurée de façon à produire un champ magnétique. L'outil de magnétisation comprend également un dispositif de blindage, qui est disposé contre la bobine principale, dans un plan sensiblement parallèle à la surface d'extrémité de la bobine principale, et qui est configuré pour produire un champ magnétique de blindage. Le champ magnétique complexe résultant du champ magnétique de blindage et du champ magnétique propre ne dépasse que faiblement du pôle magnétique de l'ensemble à aimant. Ce champ magnétique complexe est confiné contre les pôles magnétiques de l'ensemble à aimant de façon que les polarités du pôle magnétique de l'ensemble à aimant et des pôles magnétiques directement adjacents du pôle magnétique propre soient sensiblement opposées.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)