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1. (WO2014186407) MACHINE LEARNING METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING RETICLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/186407    International Application No.:    PCT/US2014/037915
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 13.05.2014
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-TENCOR CORPORATION Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventors: SEZGINER, Abdurrahman; (US).
PAN, Gang; (US).
LI, Bing; (US)
Agent: MCANDREWS, Kevin; KLA-TENCOR CORP. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Priority Data:
61/823,156 14.05.2013 US
14/274,972 12.05.2014 US
Title (EN) MACHINE LEARNING METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING RETICLES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT UN APPRENTISSAGE DE MACHINE ET UNE INSPECTION DE RÉTICULES
Abstract: front page image
(EN)Apparatus and methods for inspecting a photolithographic reticle are disclosed. A reticle inspection tool is used at one or more operating modes to obtain images of a plurality of training regions of a reticle, and the training regions are identified as defect-free. Three or more basis training images are derived from the images of the training regions. A classifier is formed based on the three or more basis training images. The inspection system is used at the one or more operating modes to obtain images of a plurality of test regions of a reticle. Three or more basis test images are derived from to the test regions. The classifier is applied to the three or more basis test images to find defects in the test regions.
(FR)La présente invention concerne un appareil et des procédés d'inspection d'un réticule photolithographique. Un outil d'inspection de réticule est utilisé dans un ou plusieurs modes de fonctionnement pour obtenir des images d'une pluralité de régions de formation d'un réticule, les régions de formation étant identifiées comme exemptes de défaut. Au moins trois images de formation de base sont dérivées des images des régions de formation. Un classificateur est formé sur la base desdites au moins trois images de formation de base. Le système d'inspection est utilisé dans lesdits un ou plusieurs modes de fonctionnement pour obtenir des images d'une pluralité de régions de test d'un réticule. Au moins trois images de test de base sont dérivées des régions de test. Le classificateur est appliqué auxdites au moins trois images de test de base pour trouver des défauts dans les régions de test.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)