WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2014185818) ELLIPSOMETER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/185818    International Application No.:    PCT/RU2014/000319
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 05.05.2014
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01)
Applicants: GUREVICH, Aleksei Sergeevich [RU/RU]; (RU)
Inventors: GUREVICH, Aleksei Sergeevich; (RU)
Agent: VOROPAI, Sergey Aleksandrovich; a/ya 405 St.Petersburg, 197227 (RU)
Priority Data:
2013121273 13.05.2013 RU
Title (EN) ELLIPSOMETER
(FR) ELLIPSOMÈTRE
(RU) ЭЛЛИПСОМЕТР
Abstract: front page image
(EN)An ellipsometer relates to means for the optical experimental investigation of properties of solids, solid-state structures and interphase boundaries and can be used for highly accurate measurements of the thickness and optical constants of thin films, of optical constants of substantial samples of solids, and also for investigations of surface properties. The ellipsometer comprises a polarizer arm PA, an analyzer arm AA, and a system for scanning the light beam of the ellipsometer, said system being realized in the form of four mirrors. The optical axis of the polarizer arm together with the mirrors H1 and V2 lie on a plane parallel to the plane of the sample surface. The mirrors V1 and H2 and the optical axis of the analyzer arm are located higher and lie on a different plane which is also parallel to the plane of the sample surface. The optical axes of the polarizer arm and analyzer arm are parallel. All 4 mirrors H1, V1, V2 and H2 lie on a vertical plane which is perpendicular to the plane of the sample surface. The polarizer arm PA and the analyzer arm AA are fixed immovably or with the possibility of moving in the direction of the optical axes thereof. The main advantages of the claimed device in comparison with existing devices are the possibility of rapidly changing the angle of incidence of the light beam on the sample B, and also the possibility of rapidly moving the area under investigation along the surface of large samples with linear dimensions of the order of a metre.
(FR)L'ellipsomètre se rapporte aux moyens d'examen optique par voie expérimentale des propriétés de corps solides, de structures à corps solides et de limites entre phases et peut s'utiliser pour mesurer avec un degré de précision élevée l'épaisseur et les constantes optiques de films minces, de constantes optiques de corps solides et pour l'examen des propriétés de surfaces. L'ellipsomètre comprend un côté polariseur CP, un côté analyseur CA et un système de balayage du faisceau lumineux qui se présente comme quatre miroirs. L'axe optique de CP ainsi que les miroirs H1 et V2 se situent dans un même plan parallèle au plan de la surface de l'échantillon. Les miroirs V1 et H2 et l'axe optique CA se situent plus haut et passent par un plan différent, ainsi que dans un plan parallèle à la surface de l'échantillon. Les axes optiques CP et CA sont parallèles. Tous les 4 miroirs H1, V1, V2 et H2 se situent dans un même plan vertical, qui est perpendiculaire au plan de la surface de l'échantillon. Le côté du polariseur CP et le côté de l'analyseur CA sont fixés à demeure ou ont la possibilité de se déplacer le long de la direction de leurs axes optiques. L'avantage principal du dispositif de l'invention en comparaison aux dispositifs existants consiste en la possibilité de changer rapidement d'angle d'incidence du faisceau lumineux par rapport à l'échantillon B ainsi que la possibilité de déplacer rapidement le domaine examiné le long de la surface à examiner des échantillons de taille important présentant des dimensions linéaires de l'ordre d'un mètre.
(RU)Эллипсометр относится к средствам для оптического экспериментального исследования свойств твердых тел, твердотельных структур и межфазных границ и может быть использован для измерений с высокой точностью толщины и оптических постоянных тонких пленок, оптических постоянных массивных образцов твердых тел, а также исследований свойств поверхности. Эллипсометр включает плечо поляризатора ПП, плечо анализатора ПА и систему развертки его светового луча, выполненную в виде четырех зеркал. Оптическая ось ПП вместе с зеркалами Н1 и V2 лежат в одной плоскости, параллельной плоскости поверхности образца. Зеркала V1 и Н2 и оптическая ось ПА находятся выше и лежат в другой плоскости, так же параллельной плоскости поверхности образца. Оптические оси ПП и ПА параллельны. Все 4 зеркала Н1, V1, V2 и Н2 лежат в одной вертикальной плоскости, перпендикулярной плоскости поверхности образца. Плечо поляризатора ПП и плечо анализатора ПА укреплены неподвижно либо с возможностью перемещения вдоль направления своих оптических осей. Основными достоинствами заявленного устройства сравнению с существующими являются возможность быстрой смены угла падения светового луча на образец В, а также возможность быстрого перемещения исследуемой области по поверхности крупногабаритных образцов с линейными размерами порядка метра.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Russian (RU)
Filing Language: Russian (RU)