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1. (WO2014185776) DEVICE AND METHOD FOR APPLYING A MATERIAL TO A SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/185776    International Application No.:    PCT/NL2014/050297
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 12.05.2014
IPC:
H01L 21/67 (2006.01), B01D 5/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Applicants: SMIT THERMAL SOLUTIONS B.V. [NL/NL]; Ekkersrijt 4302 NL-5692 DH Son en Breugel (NL)
Inventors: KAPER, Gerard; (NL).
DIEPENS, Petrus Johannes Franciscus; (NL)
Agent: NEDERLANDSCH OCTROOIBUREAU; Anna van Buerenplein 21 A 2595 DA The Hague (NL)
Priority Data:
2010809 16.05.2013 NL
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR APPLYING A MATERIAL TO A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'APPLICATION D'UN MATÉRIAU SUR UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)Device for heating a substrate for crystallizing a material on the substrate, provided with a process chamber which is provided with a first and a second sealable opening for a substrate to pass through, a first inlet for receiving a process gas and a first outlet for discharging an off-gas from the process chamber; an evaporator device for evaporating the material, which evaporator device is connected to the process chamber for supplying the process gas; a first condensation device which is connected to the process chamber for receiving the off-gas and wherein the first condensation device is designed to condense the material in the vapour phase in the off-gas to form a solid phase and a second condensation device for condensing part of the material in vapour phase in the off-gas to form a liquid phase, which second condensation device connects the first condensation device to the discharge duct and a connecting duct between the evaporator device and the second condensation device for transporting the material in the liquid phase between the second condensation device and the evaporator device.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de chauffage d'un substrat pour la cristallisation d'un matériau sur le substrat, équipé d'une chambre de traitement qui est pourvue d'une première et d'une seconde ouverture scellable destinée au passage d'un substrat à travers l'ouverture, une première entrée destinée à la réception d'un gaz de processus et une première sortie destinée à évacuer un effluent gazeux de la chambre de traitement; un dispositif d'évaporation pour l'évaporation de la matière, lequel dispositif d'évaporation est relié à la chambre de traitement pour la fourniture du gaz de processus; un premier dispositif de condensation qui est relié à la chambre de traitement et destiné à la réception de l'effluent gazeux, le premier dispositif de condensation étant conçu pour condenser le matériau en phase vapeur dans l'effluent gazeux pour former une phase solide et un second dispositif de condensation destiné à la condensation d'une partie de la matière en phase vapeur dans l'effluent gazeux pour former une phase liquide, lequel second dispositif de condensation relie le premier dispositif de condensation au conduit d'évacuation et un conduit de liaison entre le dispositif d'évaporation et le second dispositif de condensation destiné au transport de la matière en phase liquide entre le second dispositif de condensation et le dispositif d'évaporation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Dutch; Flemish (NL)