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1. (WO2014185775) DEFORMABLE OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME AS WELL AS A LITHOGRAPHIC SYSTEM COMPRISING THE DEFORMABLE OPTICAL SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/185775    International Application No.:    PCT/NL2014/050296
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 12.05.2014
IPC:
G02B 26/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Anna van Buerenplein 1 NL-2595 DA 's-Gravenhage (NL)
Inventors: DE VREUGD, Jan; (NL).
DOELMAN, Nicolaas Jan; (NL)
Agent: JANSEN, C.M.; V.O. Carnegieplein 5 2517 KJ Den Haag (NL)
Priority Data:
13167533.2 13.05.2013 EP
Title (EN) DEFORMABLE OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME AS WELL AS A LITHOGRAPHIC SYSTEM COMPRISING THE DEFORMABLE OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTÈME OPTIQUE DÉFORMABLE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CELUI-CI AINSI QUE SYSTÈME LITHOGRAPHIQUE COMPORTANT LE SYSTÈME OPTIQUE DÉFORMABLE
Abstract: front page image
(EN)The deformable optical system comprises at least one optical element (10), an actuator facility (20) and a control unit (30). Therein the at least one optical element (10) has a body (12) with a thermal expansion coefficient and the actuator facility (20) serves to exert a force distribution at a main surface (16) of the body (12). The control unit (30) is arranged for controlling the actuator facility (20) in order to control a shape of the body (12). The actuator facility comprises a body layer (22) formed on said main surface (16) of the body (12) and the body layer has a thermal expansion coefficient differing from the thermal expansion coefficient of the body. The actuator facility further comprises a thermal array (24) facing the body layer (22) and distanced from said body layer (22) by a gap (26). The thermal array has a plurality of thermal elements (250, Ti, T1,...T5) distributed at a surface of the thermal array facing the body layer that allow for a heat flow between the thermal array and the body layer. The heat flow has an amplitude controlled by the control unit (30) as a function of the position on the thermal array and as a function of time.
(FR)L'invention concerne un système optique déformable comportant au moins un élément optique (10), un moyen actionneur (20) et une unité de commande (30). Selon l'invention, ledit au moins un élément optique (10) a un corps (12) ayant un coefficient de dilatation thermique et le moyen actionneur (20) sert à exercer une distribution de force au niveau d'une surface principale (16) du corps (12). L'unité de commande (30) est agencée pour commander le moyen actionneur (20) afin de commander une forme du corps (12). Le moyen actionneur comporte une couche de corps (22) formée sur ladite surface principale (16) du corps (12) et la couche de corps a un coefficient de dilatation thermique qui diffère du coefficient de dilatation thermique du corps. Le moyen actionneur comporte par ailleurs une matrice thermique (24) orientée vers la couche de corps (22) et écartée par rapport à ladite couche de corps (22) au moyen d'un espace (26). La matrice thermique a une pluralité d'éléments thermiques (250, Ti, T1,...T5) répartis sur une surface de la matrice thermique et orientés vers la couche de corps qui permettent un flux de chaleur entre la matrice thermique et la couche de corps. Le flux de chaleur a une amplitude commandée par l'unité de commande (30) en fonction de la position sur la matrice thermique et en fonction du temps.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Licensing availability request The applicant has requested the International Bureau to indicate the availability for licensing purposes of the invention(s) claimed in this international application