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1. (WO2014185133) SURFACE-GEOMETRY MEASUREMENT METHOD AND DEVICE USED THEREIN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/185133    International Application No.:    PCT/JP2014/056092
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 10.03.2014
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: MATSUI Shigeru; (JP).
ONODA Yugo; (JP)
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2013-101792 14.05.2013 JP
Title (EN) SURFACE-GEOMETRY MEASUREMENT METHOD AND DEVICE USED THEREIN
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DE GÉOMÉTRIE DE SURFACE ET DISPOSITIF UTILISÉ POUR CELUI-CI
(JA) 面形状計測方法およびその装置
Abstract: front page image
(EN)This invention provides a technology whereby the surface geometry of an object being inspected can be measured non-destructively, without contact, with high precision, and with a wide dynamic range for angle of inclination. White light interferometry using a two-beam interferometer is performed, and the surface orientation of a reference plane is made to be able to be changed with respect to the axis of light incident thereon. While changing the relative surface orientation of said reference plane with respect to the local surface orientation at a given position on a surface being inspected, a plurality of interferograms generated by interference between light reflected from the surface being inspected and light reflected from the reference plane are acquired, and the surface geometry of the surface being inspected is measured by determining, from said interferograms, the local surface orientation of the surface being inspected.
(FR)L'invention concerne une technologie selon laquelle la géométrie de surface d'un objet étant inspecté peut être mesurée de manière non destructive, sans contact, avec grande précision, et avec une vaste gamme dynamique pour l'angle d'inclinaison. Une interférométrie en lumière blanche utilisant un interféromètre à deux faisceaux est effectuée, et l'orientation de surface d'un plan de référence est réalisée afin de pouvoir être changée par rapport à l'axe de la lumière incidente dessus. Lors du changement de l'orientation de surface relative dudit plan de référence par rapport à l'orientation de surface locale au niveau d'une position donnée sur une surface en cours d'inspection, une pluralité d'interférogrammes générés par interférence entre la lumière réfléchie en provenance de la surface en cours d'inspection et la lumière réfléchie en provenance du plan de référence sont acquis, et la géométrie de surface de la surface en cours d'inspection est mesurée en déterminant à partir desdits interférogrammes, l'orientation de surface locale de la surface en cours d'inspection.
(JA) 任意の被検査物体の面形状を非破壊・非接触・高精度・広傾斜角ダイナミックレンジで計測できる技術を提供する。 二光束干渉計を用いた白色干渉法において、参照平面の面方位をその入射光軸に対して変化させられるよう構成し、被検査面上の任意の位置における局所面方位に対して、前記参照平面の面方位を相対的に変化させながら、前記被検査面からの反射光と前記参照平面からの反射光の干渉により生成されるインターフェログラムを複数取得し、それらから前記被検査面上の局所面方位を求めることにより前記被検査面の面形状を計測する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)