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1. (WO2014185060) CHARGED PARTICLE OPTICAL LENS DEVICE AND CHARGED PARTICLE OPTICAL LENS DEVICE CONTROL METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/185060    International Application No.:    PCT/JP2014/002524
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 13.05.2014
Chapter 2 Demand Filed:    08.09.2014    
IPC:
H01J 37/12 (2006.01), H01J 37/141 (2006.01)
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KOBE UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Rokkodai-cho, Nada-ku, Kobe-shi, Hyogo 6578501 (JP)
Inventors: KIMURA, Kenjiro; (JP)
Agent: NII, Hiromori; c/o NII Patent Firm, 6F, Tanaka Ito Pia Shin-Osaka Bldg.,3-10, Nishi Nakajima 5-chome, Yodogawa-ku, Osaka-city, Osaka 5320011 (JP)
Priority Data:
2013-100913 13.05.2013 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE OPTICAL LENS DEVICE AND CHARGED PARTICLE OPTICAL LENS DEVICE CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE LENTILLE OPTIQUE À PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DISPOSITIF DE LENTILLE OPTIQUE À PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子光学レンズ装置及び荷電粒子光学レンズ装置の制御方法
Abstract: front page image
(EN)A charged particle optical lens device (1) is provided with a charged particle optical lens group which includes a plurality of charged particle optical lenses (24) disposed in stages, and an electric signal distribution device (12) that applies, to each of a plurality of charged particle optical lenses (24), a current or voltage in which the calculation results of electromagnetic field simulation are reflected. The electromagnetic field simulation is simulation for calculating electrostatic potential distribution or magnetic potential distribution produced at the location of each of the plurality of charged particle optical lenses (24) by a charged particle optical lens the lens diameter of which is larger than that of the plurality of charged particle optical lenses.
(FR)L'invention concerne un dispositif de lentille optique à particules chargées (1) pourvu d'un groupe de lentilles optiques à particules chargées qui comprend une pluralité de lentilles optiques à particules chargées (24) disposées en étages, et d'un dispositif de distribution de signal électrique (12) qui applique, à chacune de la pluralité de lentilles optiques à particules chargées (24), un courant ou une tension dans lequel les résultats du calcul de la simulation de champ électromagnétique sont pris en compte. La simulation de champ électromagnétique est une simulation pour calculer la distribution de potentiel électrostatique ou la distribution de potentiel magnétique produite à l'emplacement de chacune de la pluralité de lentilles optiques à particules chargées (24) par une lentille optique à particules chargées dont le diamètre de lentille est supérieur à celui de la pluralité de lentilles optiques à particules chargées.
(JA) 荷電粒子光学レンズ装置(1)は、多段に配置された複数の荷電粒子光学レンズ(24)を含む荷電粒子光学レンズ群と、複数の荷電粒子光学レンズ(24)のそれぞれに、電磁界シミュレーションの計算結果を反映させた電圧又は電流を印加する電気信号配分装置(12)とを備え、電磁界シミュレーションは、レンズ口径が複数の荷電粒子光学レンズ(24)よりも大きい荷電粒子光学レンズが複数の荷電粒子光学レンズのそれぞれの位置に作り出す静電ポテンシャル分布又は磁気ポテンシャル分布を計算するシミュレーションである。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)