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1. (WO2014184895) MANIFOLD UNIT AND CONSTANT FLOW RATE-TYPE LEAK TESTER USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/184895    International Application No.:    PCT/JP2013/063543
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 15.05.2013
IPC:
G01M 3/26 (2006.01)
Applicants: COSMO INSTRUMENTS CO.,LTD. [JP/JP]; 2974-23,Ishikawacho,Hachioji-shi, Tokyo 1920032 (JP)
Inventors: FURUSE, Akio; (JP).
SUZUKI, Yoshinao; (JP)
Agent: NAKAO, Naoki; 4th Floor, Shinjuku NSO Building, 1-22, Shinjuku 3-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
Title (EN) MANIFOLD UNIT AND CONSTANT FLOW RATE-TYPE LEAK TESTER USING SAME
(FR) UNITÉ DE COLLECTEUR ET TESTEUR DE FUITE À DÉBIT CONSTANT L'UTILISANT
(JA) マニホールドユニット及びそれを使った定流量型リークテスタ
Abstract: front page image
(EN)In this manifold unit, a workpiece-side pipe, a master-side pipe, an introduction hole, and an open hole are formed within a manifold block. Two pipe openings that are electrically connected to each of the workpiece-side pipe and the master-side pipe and a shared opening that is electrically connected to the introduction hole are formed in a first circular area of the surface of the manifold block. Critical flow nozzles are inserted into each of the two pipe openings in the first circular area. Two pipe openings that are electrically connected to each of the workpiece-side pipe and the master-side pipe and a shared opening that is electrically connected to the open hole are formed in a second circular area. First and second mount plates are arranged so as to cover the first and second circular areas. The first and second mount plates each comprise: cylindrical protrusions in which through holes that face and connect with the pipe openings are formed; and through holes that face and connect with the shared openings. Control valves that are mounted on the mount plates use a rubber seal to simultaneously open and close the through holes of the two cylindrical protrusions in a valve operation chamber.
(FR)Une conduite côté pièce de travail, une conduite côté maître, un trou d'introduction et un trou ouvert sont formés à l'intérieur d'un bloc collecteur de la présente unité de collecteur. Deux ouvertures de conduite qui sont mises en communication électriquement à la fois avec la conduite côté pièce de travail et avec la conduite côté maître et une ouverture partagée qui est mise en communication électriquement avec le trou d'introduction sont formées dans une première zone circulaire de la surface du bloc collecteur. Des buses d'écoulement critique sont introduites dans chacune des deux ouvertures de conduite situées dans la première zone circulaire. Les deux ouvertures de conduite qui sont mises en communication électriquement à la fois avec la conduite côté pièce de travail et avec la conduite côté maître et une ouverture partagée qui est mise en communication électriquement avec le trou ouvert sont formées dans une seconde zone circulaire. Des première et seconde plaques de montage sont disposées de façon à couvrir les première et seconde zones circulaires. Les première et seconde plaques de montage comprennent chacune : des saillies cylindriques dans lesquelles sont formés des trous traversants qui font face aux ouvertures de conduite et qui communiquent avec ces dernières ; et des trous traversants qui font face aux ouvertures partagées et qui communiquent avec ces dernières. Des vannes de commande qui sont montées sur les plaques de montage font intervenir un joint en caoutchouc pour ouvrir et fermer simultanément les trous traversants des deux saillies cylindriques situées dans une chambre de mise en œuvre de vannes.
(JA) マニホールドブロック内にワーク側配管とマスター側配管と導入穴と開放穴が形成され、マニホールドブロックの表面の第1円領域にそれぞれワーク側配管とマスター側配管に導通する2つの配管開口と、導入穴に導通する共通開口が形成され、第1円領域の2つの配管開口に臨界ノズルがそれぞれ挿入されており、第2円領域にそれぞれワーク側配管とマスター側配管に導通する2つの配管開口と、開放穴に導通する共通開口が形成され、第1および第2円領域を覆う第1および第2マウントプレートが配置され、第1および第2マウントプレートはそれぞれ配管開口に対向して連通する貫通孔が形成された円柱突出部と、共通開口と対向して連通した貫通穴とを有し、マウントプレートの上に取り付けられた制御弁は弁作動室においてシールゴムにより2つの円柱突出部の貫通孔を同時に開、閉する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)