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1. (WO2014184149) WORKPIECE HANDLING SYSTEM AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/184149    International Application No.:    PCT/EP2014/059670
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 12.05.2014
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Applicants: DTG INTERNATIONAL GMBH [CH/CH]; Hardturmstrasse 105 CH-8005 Zurich (CH)
Inventors: WILLSHERE, Jeffrey Richard; (GB).
YANG, Diming; (GB).
ROGERS, Michael John; (GB)
Agent: BODEN, Keith McMurray; Fry Heath & Spence LLP The Gables Massetts Road Horley Surrey RH6 7DQ (GB)
Priority Data:
1308484.3 11.05.2013 GB
Title (EN) WORKPIECE HANDLING SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE MANIPULATION DE PIÈCES DE TRAVAIL
Abstract: front page image
(EN)A workpiece handling system for and method of handling workpieces, the system comprising : a workpiece support unit which is operative to support a workpiece in a processing operation, wherein the workpiece support unit comprises a platen for supporting a workpiece thereon, the platen comprising a body and a belt which extends over a surface of the body to transfer workpieces thereon to and from the platen, and a drive arrangement which drives the belt to transfer workpieces; and an imaging unit for imaging a supported workpiece, wherein the imaging unit comprises a plurality of discrete light sources which are arranged to illuminate respective edge features of the supported workpiece through the belt, and a plurality of detectors arranged in correspondence to the respective light sources to detect transmitted illumination from respective ones of the light sources, whereby images of each of the respective edge features can be acquired.
(FR)La présente invention concerne un système de manipulation de pièces de travail et un procédé de manipulation de pièces de travail, le système comprenant : une unité de support de pièce de travail qui peut fonctionner pour supporter une pièce de travail lors d'une opération de traitement, l'unité de support de pièce de travail comprenant une table destinée à supporter une pièce de travail sur cette dernière, la table comprenant un corps et une bande qui s'étend sur une surface du corps pour transférer des pièces de travail en les portant vers la table et à partir de cette dernière, et un agencement d'entraînement qui entraîne la bande pour transférer les pièces de travail ; et une unité d'imagerie destinée à mettre en images une pièce de travail supportée, l'unité d'imagerie comprenant plusieurs sources lumineuses discrètes qui sont disposées de façon à éclairer des caractéristiques de bords respectifs de la pièce de travail supportée à travers la bande, et plusieurs détecteurs disposés en correspondance avec les sources lumineuses respectives de façon à détecter un éclairement transmis par certaines des sources lumineuses respectives, des images de chacune des caractéristiques de bords respectifs pouvant ainsi être acquises.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)