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1. (WO2014184127) ENCLOSED X-RAY IMAGING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/184127    International Application No.:    PCT/EP2014/059619
Publication Date: 20.11.2014 International Filing Date: 12.05.2014
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
Applicants: NIKON METROLOGY NV [GB/BE]; Geldenaaksebaan, 329 B-3001 Leuven (BE)
Inventors: SUZUKI, Kazuaki; (GB).
HILTON, Daniel; (GB)
Agent: SPROSTON, David; Hoffmann • Eitle Arabellastrasse 30 81925 Munich (DE)
Priority Data:
1308597.2 13.05.2013 GB
Title (EN) ENCLOSED X-RAY IMAGING SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'IMAGERIE À RAYONS X ENFERMÉ
Abstract: front page image
(EN)According to the present disclosure, there is provided an x-ray imaging system, comprising: an x-ray source; an x-ray detector; a sample mount for mounting a sample in a beam path between the x-ray source and the x-ray detector; an enclosure enclosing at least the sample mount in an interior of the enclosure; and a climate control system for regulating the climate inside the enclosure, wherein: the enclosure has an aperture for enabling access to at least the sample mount from outside the enclosure; the enclosure is provided with a door operable between an open position in which the aperture is open and a closed position in which the aperture is closed by the door; and the climate control system is operable to provide a positive pressure differential between the interior of the enclosure and an exterior of the enclosure such that the interior of the enclosure is maintained at a higher pressure than the exterior of the enclosure when the door is open. Such a system is able to better regulate the temperature inside the enclosure even when the door is opened.
(FR)La présente invention concerne un système d'imagerie à rayons X, comprenant : une source de rayons X; un détecteur de rayons X; un support d'échantillon pour monter un échantillon dans un trajet de faisceau entre la source de rayons X et le détecteur de rayons X; une enceinte enfermant au moins le support d'échantillon à l'intérieur de l'enceinte; et un système de commande de température pour réguler la température à l'intérieur de l'enceinte, dans lequel : l'enceinte présente une ouverture pour permettre l'accès au moins au support d'échantillon depuis l'extérieur de l'enceinte; l'enceinte est munie d'une porte pouvant être actionnée entre une position ouverte dans laquelle l'ouverture est dégagée et une position fermée dans laquelle l'ouverture est fermée par la porte; et le système de commande de température sert à fournir une différence de pression positive entre l'intérieur de l'enceinte et l'extérieur de l'enceinte, de telle sorte que l'intérieur de l'enceinte est maintenu à une pression plus élevée que l'extérieur de l'enceinte lorsque la porte est ouverte. Un tel système permet de mieux réguler la température à l'intérieur de l'enceinte, même lorsque la porte est ouverte.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)