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1. (WO2014182981) SYSTEM AND METHOD FOR PROTECTION OF VACUUM SEALS IN PLASMA PROCESSING SYSTEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/182981    International Application No.:    PCT/US2014/037415
Publication Date: 13.11.2014 International Filing Date: 09.05.2014
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: MATTSON TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 47131 Bayside Parkway Fremont, California 94538 (US)
Inventors: NAGORNY, Vladimir; (US).
PARKS, Steven; (US).
ZUCKER, Martin; (US)
Agent: CASSIDY, Timothy, A.; Dority & Manning, P.A. P O Box 1449 Greenville, South Carolina 29602-1449 (US)
Priority Data:
61/821,326 09.05.2013 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR PROTECTION OF VACUUM SEALS IN PLASMA PROCESSING SYSTEMS
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PROTECTION DE JOINTS HERMÉTIQUES DANS DES SYSTÈMES DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods for protecting vacuum seals in a plasma processing system are provided. The plasma processing system can include a vacuum chamber defining a sidewall and an inductive coil wrapped around at least a portion of the sidewall. A vacuum seal can be positioned between the sidewall of the vacuum chamber and a heat sink. A thermally conductive bridge can be coupled between the sidewall and heat sink. Further, the thermally conductive bridge can be positioned relative to the vacuum seal such that the thermally conductive bridge redirects a conductive heat path from the sidewall or any heat source to the heat sink so that the heat path bypasses the vacuum seal.
(FR)La présente invention concerne des systèmes et des procédés pour la protection de joints hermétiques dans un système de traitement au plasma. Le système de traitement au plasma peut comporter une chambre à vide définissant une paroi latérale et une bobine d'induction enroulée autour d'au moins une partie de la paroi latérale. Un joint hermétique peut être positionné entre la paroi latérale de la chambre à vide et un dissipateur de chaleur. Un pont thermique peut être couplé entre la paroi latérale et le dissipateur de chaleur. En outre, le pont thermique peut être positionné par rapport au joint hermétique de telle sorte que le pont thermique redirige un trajet de chaleur par conduction entre la paroi latérale ou une quelconque source de chaleur et le dissipateur de chaleur de telle sorte que le trajet de chaleur contourne le joint hermétique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)