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1. (WO2014181715) SUPPORTING AIR PLATE AND GAS FLOW RESISTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/181715    International Application No.:    PCT/JP2014/061730
Publication Date: 13.11.2014 International Filing Date: 25.04.2014
IPC:
B65G 49/06 (2006.01), B65G 51/03 (2006.01), F16C 32/06 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: OILES CORPORATION [JP/JP]; 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP)
Inventors: TSUNODA, Kouichi; (JP).
YASUDA, Takahiro; (JP).
ITO, Akihiko; (JP).
OZAWA, Hideo; (JP)
Agent: WILLFORT INTERNATIONAL PATENT FIRM; Nihonbashi TC Bldg. 1F, 19-7, Nihonbashi Koamicho, Chuo-ku, Tokyo 1030016 (JP)
Priority Data:
2013-099465 09.05.2013 JP
Title (EN) SUPPORTING AIR PLATE AND GAS FLOW RESISTOR
(FR) PLAQUE D'AIR DE SOUTIEN ET RÉSISTANCE D'ÉCOULEMENT DE GAZ
(JA) 支持用エアプレートおよびその気体流抵抗器
Abstract: front page image
(EN)Provided is a technology that eases stress on a subject resulting from gas flow. This supporting air plate has a supporting surface, a compressed gas layer is formed between the supporting surface and a supported subject, and the supported subject is supported in the state of not contacting the supporting surface. The supporting air plate has: a gas flow resistor having a plurality of discharge openings that throttle and discharge a supplied gas flow; a first perforated plate-shaped section having a plurality of first gas supply holes to which the plurality of gas flow resistors are mounted; a second perforated plate-shaped section that is adjacent to the first perforated plate-shaped section at the support surface side and that has second gas supply holes that, at positions corresponding to the first gas supply holes, overlap a portion of the first gas supply holes and interconnect with the first gas supply holes, discharging a gas flow towards the compressed gas layer; and a gas flow opposing surface that opposes the discharge openings of the gas flow resistors that throttle and discharge the gas flow of the gas flow resistors, and that is positioned at the boundary section of the first perforated plate-shaped section and the second perforated plate-shaped section that cause the collision and diffusion of the gas flow discharged from the discharge opening of the gas flow resistors.
(FR)L'invention concerne une technologie qui facilite la contrainte sur un sujet résultant d'un écoulement de gaz. Cette plaque d'air de soutien possède une surface d'appui, une couche de gaz comprimé est formée entre la surface d'appui et un objet soutenu, et l'objet soutenu est soutenu dans un état sans contact avec la surface d'appui. La plaque d'air de soutien comporte : une résistance d'écoulement de gaz possédant une pluralité d'orifices d'évacuation qui régulent et évacuent un écoulement de gaz fourni; une première section en forme de plaque perforée possédant une pluralité de premiers orifices d'alimentation de gaz sur laquelle la pluralité de résistances d'écoulement de gaz est montée; une seconde section en forme de plaque perforée qui est adjacente à la première section en forme de plaque perforée au niveau du côté de surface d'appui et qui possède des seconds orifices d'alimentation de gaz qui, à des positions correspondant aux premiers orifices d'alimentation de gaz, chevauchent une partie des premiers orifices d'alimentation de gaz et s'interconnectent avec les premiers orifices d'alimentation de gaz, évacuant un écoulement de gaz en direction de la couche de gaz comprimé; et une surface opposée à l'écoulement de gaz qui oppose les orifices d'évacuation des résistances d'écoulement de gaz qui régulent et évacuent l'écoulement de gaz des résistances d'écoulement de gaz, et qui est positionnée au niveau de la section de limite de la première section en forme de plaque perforée et de la seconde section en forme de plaque perforée qui provoquent la collision et la diffusion de l'écoulement de gaz évacué de l'orifice d'évacuation des résistances d'écoulement de gaz.
(JA) 気体流による対象物へのストレスを緩和する技術を提供する。 支持用エアプレートは、支持面を有し、支持面と支持対象物との間に圧縮気体層を形成し、支持対象物を支持面と非接触の状態で支持する支持用エアプレートであって、供給される気体流を絞って噴出する複数の噴出口を有する気体流抵抗器と、複数の気体流抵抗器が装着される複数の第1気体供給孔を有する第1有孔板状部と、第1有孔板状部の支持面側に隣接し、第1気体供給孔に対応する位置に、第1気体供給孔の一部と重なって第1気体供給孔と連通し、気体流を圧縮気体層に向かって噴出する第2気体供給孔を有する第2有孔板状部と、気体流抵抗器の気体流を絞って噴出する気体流抵抗器の噴出口に対面し、気体流抵抗器の噴出口から噴出した気体流を衝突させて拡散させる第1有孔板状部と第2の有孔板状部との境界部に位置する気体流対抗面と、を有している。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)