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1. (WO2014180132) FILM THICKNESS TESTING METHOD AND DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/180132    International Application No.:    PCT/CN2013/088973
Publication Date: 13.11.2014 International Filing Date: 10.12.2013
IPC:
G01B 21/08 (2006.01)
Applicants: BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; No.10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015 (CN)
Inventors: WANG, Can; (CN)
Agent: LIU, SHEN & ASSOCIATES; 10th Floor, Building 1, 10 Caihefang Road, Haidian District Beijing 100080 (CN)
Priority Data:
201310173164.X 10.05.2013 CN
Title (EN) FILM THICKNESS TESTING METHOD AND DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF PERMETTANT DE TESTER L'ÉPAISSEUR D'UN FILM
(ZH) 薄膜厚度的测试方法和装置
Abstract: front page image
(EN)A film thickness testing method, comprising: covering a testing mask with a hollow part onto a surface of a substrate (S101); coating the substrate covered with the testing mask (S102), thereby forming a film at a place on the substrate at least corresponding to the hollow part; removing the testing mask and measuring a thickness of the film in a probe method (S103). Further provided is a film thickness testing device. The method and device can ensure the testing accuracy while reducing the costs of measurement of the film thickness.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de tester l'épaisseur d'un film, comportant : l'état consistant à placer un masque de test ayant une partie creuse sur une surface d'un substrat (S101) ; l'étape consistant à pulvériser le substrat recouvert du masque de test (S102), pour ainsi former un film au niveau d'un endroit sur le substrat correspondant au moins à la partie creuse ; l'étape consistant à retirer le masque de test et l'étape consistant à mesurer une épaisseur du film par un procédé à sonde (S103). L'invention concerne aussi un dispositif permettant de tester l'épaisseur d'un film. Le procédé et le dispositif permettent d'assurer la précision du test tout en réduisant les coûts de mesure de l'épaisseur du film.
(ZH)一种测试薄膜厚度的方法,其包括:将具有镂空部的测试掩膜覆盖在一基板的表面上(S101);对覆盖有测试掩膜的基板进行镀膜(S102),从而在基板上至少与镂空部对应的位置处形成薄膜;移除测试掩膜,利用探针法对薄膜的厚度进行测量(S103)。还提供了一种测试薄膜厚度的装置。该方法和装置能够在保证测试精度的同时,降低测量薄膜厚度的成本。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)